スーパーファインコーター
ESC-101

チャージアップが顕著な試料について、極低加速電圧でのSEM観察に費やす時間と労力は計り知れません。
また、チャージコントラストも実に難解です。
本装置により、安全に、かつSEMの分解能では確認が困難なタングステンスパッタ粒子の緻密な良導電膜が短時間で得られます。
※タングステンは導電コーティング材料として、導電性、低加速電圧域における二次電子イールド、共に優れる材料です。

• Arイオンを用いたイオンビームスパッタ法によりデポジションされたタングステン膜の粒子サイズは0.2 nm～0.5 nm70万倍のSEM観察でも粒状性が認められず、高倍率での観察に最適です。
• 試料表面温度が50 ℃以下のため、熱ダメージの少ないコーティングが可能です。
• 短時間でコーティングできます。(真空度1Pa到達後所要時間3～5分）
• 回り込み良く、狭い隙間もコーティングと付着力に優れたコーティングが可能。コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。
• ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しておりますが、ご要望に応じて各種ターゲット材に換えることができます。

※オプション:エッチングも可能です。