電子ビーム描画装置
ELS-BODEN

電子ビーム描画装置

ELS-BODEN

高繊細描画から大電流高速描画まで幅広いアプリケーションに対応

業界初のフル12インチ描画エリアを実現しました。研究開発でよく使われる小片サイズから、2/3/4/5/6/7/8/12インチサイズのウェハに対応し、マスクブランクスも6025や9025サイズに対応しています。

研究開発用途で要望の多いシングルオートローダーはもちろんのこと、少量生産から中量生産まで対応可能なマルチオートローダー、ロボットローダー等充実のラインナップから最適な搬送機構をご選択頂けます。

新たな装置制御ソフトウェア「elms（エルムス）」を標準搭載しました。CAD変換やビーム調整，描画実行，SEM観察など様々な機能を整理して分割することにより、必要な機能が見つけやすくなり、作業性が格段にアップしています。アカウント管理機能もあるため、ユーザーのレベルに合わせた機能制限等も可能です。

電子銃	ZrO/W 熱電界放出型
加速電圧	50 kV	100 kV	125 kV	150 kV
ビーム電流	1 nA ～ 800 nA	20 pA ～ 200 nA	5 pA ～ 100 nA	5 pA ～ 100 nA
最小ビーム径	D 2.8 nm	D 1.8 nm	D 1.7 nm	D 1.5 nm
標準フィールドサイズ	1000 μm□	1000 μm□	500 μm□	500 μm□
最小 / 最大フィールドサイズ	最小 100 μm □ 最大（オプション）3000 μm□
スキャンクロック	標準 100 MHz 最大（オプション）200MHz
ショットピッチ	最小 0.2 nm
最大試料サイズ	8″ ウェハー / 12″ ウェハー
最大描画エリア	200 mm x 200 mm / 300 mm x 300 mm
搬送機構	シングルオートローダーマルチオートローダーロボットローダー
Software	elms（エルムス）ビーム調整機能描画スケジュール機能パターンデータ変換機能アカウント管理機能 Python スクリプティング