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製品案内

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微細加工装置

電子ビーム描画装置
 『ELS-F150』
      加速電圧 150kV

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電子ビーム描画装置
 『ELSシリーズ』 
  加速電圧 125/100/50kV

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電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』

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ECRイオンエッチング・成膜装置『EISシリーズ』

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小型ECRイオンシャワー装置『EIS-200ERP』
 新製品

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ICPエッチング装置
 『EIS‐700』

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計測・分析装置

電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9000』  
 
セミインレンズ FE-3D・SEM

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三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600FE』 
 FE-3D・SEM  Quad₋SED  

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三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600』
 3D・SEM   Quad₋SED

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超微小押し込み硬さ試験
機『ENT-NEXUS』 
ナノインデンテーションテスター

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表面力測定装置
 『ESF-5000Plus』

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高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』 

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トピックス

トピックス一覧
2019年 7月
展示会情報
アジア最大級 分析機器・科学機器専門展示JASIS2019出展いたします。
会期: 9月4日(木)~6日(金)  時間 10:00~17:00
会場: 幕張メッセ国際展示場
弊社ブース 7ホール 小間番号 7B-301
出展製品: 超微小押し込み硬さ試験機ENT-NEXUS』 
      表面力測定装置     
ESF-5000Plus』  
      超薄膜スクラッチ試験機 
CSR5000(株式会社レスカ:共同出展)
2019年 7月
視察・研修会
第80回応用物理学会秋季学術講演会(9月18日~21日、会場:北海道大学 札幌キャンパス) に於いて☆弊社主催ランチョンセミナーを9月20日(金)に開催いたます。
               尚、弊社セミナー開催時間および会場は未定のため後日発表いたします。
2019年 3月
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600,ERA-600FEの製品ページに「ERA-600、ERA-600FEによる精密切削工具の刃先評価」配布資料を追加いたしました。
2019年 2月
修理料金改定についてのお知らせ。                     2019年2月吉日
   平素はエリオニクス製品をご愛用いただきまして、誠にありがとうございます。
        このたび、2020年4月1日以降のご注文受付分より修理料金ならびに電子銃交換費用を改定すること
       
いたしました。
2019年 1月
新聞・雑誌掲載
日本経済新聞に弊社の超高速電子ビーム描画装置UHSEBの記事が掲載されました。
NEDO戦略的基盤技術高度化支援事業(プロジェクト委託型)
               『半導体微細加工 コスト減 高速描画装置を開発   
2018年12月
新商品のお知らせ
新製品 小型イオンシャワー装置EIS-200ERPを発表いたしました。
2018年 4月
新聞・雑誌掲載
TAMA Cluster: The Technological Powerhouse In Western Tokyo
(一社)首都圏産業活性化協会(TAMA産業活性化協会)の活動の中で特色ある企業として
               弊社が『Forbes JapanVoice』に紹介されました。
2018年 2月
新商品のお知らせ
新製品 超高精細高精度電子ビーム描画装置ELS-F150を発表いたしました。
2017年 9月
新商品のお知らせ
新製品 超微小押し込み硬さ試験機ENT-NEXUSを発表いたしました。
2017年 2月
表面力測定装置ESF-5000Plus製品ページに「粘着材料4種測定比較」配布資料を追加いたしました。
2016年 8月
新商品のお知らせ
新製品 表面力測定装置ESF-5000Plusを発表いたしました。
2016年 1月
新商品のお知らせ
新製品 高スループット電子ビーム描画装置ELS-HS50を発表いたしました。
2015年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600を発表いたしました。
2014年 9月
新商品のお知らせ
新製品 加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置ELS-S50を発表いたしました。
2014年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600FEを発表いたしました。
2014年 3月
当社が経済産業省よりグローバルニッチトップ企業100選に選定、表彰されました。
2014年 3月
BS-TBS報道経済番組グローバルナビフロントに弊社本目会長が生出演いたしました。
2014月 1月
新商品のお知らせ
新製品 超高精度電子ビーム描画装置ELS-F100を発表しました。
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