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微細加工装置

電子ビーム描画装置
 『ELS-F150』新製品

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電子ビーム描画装置
 『ELSシリーズ』

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電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』

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ECRイオンエッチング・成膜装置『EISシリーズ』

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ICPエッチング装置
 『EIS‐700』

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電子ビームナノ融解装置
 『ENF-3500』

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計測・分析装置

電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9000』

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三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600FE』

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三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600』

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超微小押し込み硬さ試験
機『ENT-NEXUS』

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表面力測定装置
 『ESF-5000Plus』

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高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』 

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トピックス

トピックス一覧
2018年12
展示会情報
SEMICON Japan 2018』展示会に出展いたします。
日時:12月12日(水)~14日(金)  時間 10:00~17:00
会場:東京
ビッグサイト 弊社ブース 前工程 東4ホール 小間番号 4326
多数の皆様のご来訪心よりお待ちしております。
2018年12月
展示会情報
世界最大ナノテクノロジー総合展nano tech 2019展示会に出展いたします。
日時:2019年1月30日(水)~2
1日(金)  時間 10:00~17:00
会場:
東京ビッグサイト 東5ホール 弊社小間番号 5J-19 
出展装置:後日発表いたします。
多数の皆様のご来訪心よりお待ちしております。

2018年 4月
新聞・雑誌掲載
TAMA Cluster: The Technological Powerhouse In Western Tokyo
(一社)首都圏産業活性化協会(TAMA産業活性化協会)の活動の中で特色ある企業として
               弊社が『Forbes JapanVoice』に紹介されました。
2018年 2月
新商品のお知らせ
新製品 超高精細高精度電子ビーム描画装置ELS-F150を発表いたしました。
2017年 9月
新商品のお知らせ
新製品 超微小押し込み硬さ試験機ENT-NEXUSを発表いたしました。
2017年 2月
表面力測定装置ESF-5000Plus製品ページに「粘着材料4種測定比較」配布資料を追加いたしました。
2016年 8月
新商品のお知らせ
新製品 表面力測定装置ESF-5000Plusを発表いたしました。
2016年 1月
新商品のお知らせ
新製品 高スループット電子ビーム描画装置ELS-HS50を発表いたしました。
2015年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600を発表いたしました。
2014年 9月
新商品のお知らせ
新製品 加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置ELS-S50を発表いたしました。
2014年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600FEを発表いたしました。
2014年 3月
当社が経済産業省よりグローバルニッチトップ企業100選に選定、表彰されました。
2014年 3月
BS-TBS報道経済番組グローバルナビフロントに弊社本目会長が生出演いたしました。
2014月 1月
新商品のお知らせ
新製品 超高精度電子ビーム描画装置ELS-F100を発表しました。
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