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研究開発から、品質管理、多品種少量生産まで
ナノテクノロジーの最前線を支える

エリオニクスの
微細加工・計測分析装置

微細加工・計測技術を追求して半世紀

研究開発の現場で安心して使える
装置とサポートを提供します

株式会社エリオニクスは、
創業50年以上の歴史をもつ、最先端の研究開発を支える微細加工装置、計測・分析装置を提供するメーカーです。
シングルナノメートルレベルの微細加工技術や、国内唯一のナノインデンテーションテスターをはじめとする
高度な技術力で、世界中のエンジニアから選ばれています。
当社の特長は、ユーザーの声を反映した「性能」と「安心」の両立です。
直感的に操作でき、エラーを防ぐ独自のソフトウェア設計。
導入後の課題解決にも寄り添う丁寧なサポート体制で、ナノテクノロジーの進化に貢献します。

Products

製品情報

微細加工装置
(Nanofabrication Systems)

計測・分析装置
(Measuring Analyzing equipments)

Technical Information

技術情報

エリオニクスの技術に関する情報をまとめております。

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世界屈指のナノテクノロジー技術を持つエリオニクスで働きませんか。

News

お知らせ

  • お知らせ国際学会「IIW8」でナノインデンテーションマッピングの解析手法を発表しました

    国際学会「IIW8」でナノインデンテーションマッピングの解析手法を発表しました

    当社は、2026年11月1日~5日に韓国・高陽市のKINTEXで開催された 「第8回国際インデンテーションワークショップ(IIW8)」において、 ナノインデンテーションマッピングの解析に関する研究成果をポスター発表しました。

    IIW8でのポスター発表の様子

    IIW8(韓国・高陽市)でのポスター発表の様子

    本研究では、硬さ・弾性率と同時に取得する表面高さデータから局所的な傾斜を算出し、 傾斜の大きい測定点を除外したうえで機械学習によるクラスタリングを行う手法を検討しました。 追加測定や画像の位置合わせを必要としない点が特徴です。

    TiN/TiCN多層膜を形成した工具鋼の評価では、本手法によって、 除外後に残った測定点の分類性能が改善することを確認しました。 また、硬さ・弾性率の極端な値を一律に除外する方法と比較して、 高い機械特性を持つ領域の測定データを保持しやすいことを示しました。

    当社は今後も、ナノインデンテーションによる材料評価の信頼性向上と、 測定データの活用に取り組んでまいります。

    発表概要

    学会名 第8回国際インデンテーションワークショップ(IIW8)
    開催期間 2026年11月1日~5日
    開催場所 KINTEX(韓国・高陽市)
    発表題目 Registration-Free Topography-Based Reliability Filtering for Unsupervised Classification of High-Throughput Nanoindentation Maps
    著者 小林隼人、野間海生

    学会の詳細につきましては、下記公式サイトをご覧ください。

    学会公式サイト:
    https://www.iiw8.org/

  • お知らせ技術書『高分子材料の粘弾性測定、熱分析とデータ解釈』に当社社員の執筆記事が掲載されました

    当社社員執筆の記事が技術専門書に掲載されました

    株式会社技術情報協会様より2026年11月発刊予定の技術書 『高分子材料の粘弾性測定、熱分析とデータ解釈』 (ISBN:978-4-86798-171-9、本体価格77,000円+税)に、 当社社員が執筆した記事が掲載されました。

    当社 開発技術部 技術課 小林隼人 が、 「ナノインデンテーションによる高分子材料の局所粘弾性評価と温度制御試験」 と題し、ナノインデンテーションによる高分子材料の粘弾性試験の基本原理、 荷重-変位曲線を用いた粘弾性・クリープ・応力緩和の評価方法、 さらに温度制御試験による特性評価について解説しています。

    また、本記事ではPMMA、PVC、PEEK、PE-UHMWなどの高分子材料を対象に実測を行い、 DMA手法との比較や薄膜状の微小部材に対する局所評価など、 実務上の留意点についても詳しく紹介しています。

    書籍概要

    書名 高分子材料の粘弾性測定、熱分析とデータ解釈
    出版社 株式会社技術情報協会
    発刊日 2026年11月(予定)
    掲載記事 第2節 ナノインデンテーションによる高分子材料の局所粘弾性評価と温度制御試験
    執筆者 開発技術部 技術課 小林隼人

    本書の詳細につきましては、下記出版社Webサイトをご覧ください。

    書籍詳細:
    https://www.gijutu.co.jp/doc/b_2384.htm

  • お知らせコーポレートサイトリニューアルのお知らせ

    平素より弊社コーポレートサイトをご利用いただき、誠にありがとうございます。 このたび、皆様により快適にご利用いただけるよう、コーポレートサイトをリニューアルいたしました。 今回のリニューアルでは、デザインやページ構成を一新し、必要な情報へよりスムーズにアクセスできるよう改善しております。 また、スマートフォンやタブレットなど各種端末からも快適にご利用いただけるよう対応を強化いたしました。 さらに、新たに製品情報ページおよび技術情報ページを追加し、製品仕様や技術に関する情報をより分かりやすくご覧いただけるようになりました。また、当社の技術や業界動向などを発信するコラムページも新設しております。 今後もコンテンツの充実と利便性の向上に努め、皆様に有益な情報を発信してまいります。 引き続きご愛顧賜りますよう、よろしくお願い申し上げます。
  • お知らせサポート終了製品についてのお知らせ

    サポート終了のお知らせ

    エリオニクス製品をご愛用いただき、誠にありがとうございます。
    部品の製造中止やOSサポート終了に伴い、下記製品の修理サポートを終了しております。

    対象機種一覧

    対象機種 サポート終了日
    ENT-1100a、ENT-2100(対象仕様機) 2022年9月30日
    ERA-8800、ERA-8800FE 2022年9月30日
    ELS-7000、ELS-7700、ELS-7800、ELS-7500(Windows 7以前搭載機)、EIS-700 2023年3月31日

    ENTシリーズ旧モデル

    対象機種

    • ENT-1100a
    • ENT-2100

    サポート終了日

    2022年9月30日

    対象条件

    • OSがWindows XP以前の装置
    • Windows 7搭載PCが故障した装置
    • 旧式変位計(20μmタイプ)を搭載した装置

    変位計確認方法

    1. カメラモジュール背面から出ているケーブルをご確認ください。
    2. 黒色ケーブルが2本の場合:計測範囲20μm(更新対象)
    3. 灰色ケーブルが1本の場合:計測範囲100μm(更新対象外)

    補足

    対象機種については、制御系更新作業を行うことで一時的なサポート継続が可能です。
    ただし、将来的な部品供給終了への対応を保証するものではありません。

    サポート終了の理由

    Windows 7以前のサポート終了および部品製造中止のため。


    ELSシリーズ・EISシリーズ

    対象機種

    • ELS-7000
    • ELS-7700
    • ELS-7800
    • ELS-7500(Windows 7以前搭載機)
    • EIS-700

    サポート終了日

    2023年3月31日

    サポート終了の理由

    部品製造中止に伴い、故障や不具合修理への対応が困難となり、 一部箇所については既に修理不能となっているため。


    ERAシリーズ

    対象機種

    • ERA-8800
    • ERA-8800FE

    製品区分

    三次元粗さ解析走査電子顕微鏡

    サポート終了日

    2022年9月30日

    サポート終了の理由

    部品製造中止に伴い、故障や不具合修理への対応が困難となり、 一部箇所については既に修理不能となっているため。


    お問い合わせ

    株式会社エリオニクス 営業部
    E-mail: sales@elionix.co.jp
    TEL:042-626-0611

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