三次元粗さ解析走査電子顕微鏡
ERA-600シリーズ
【ERA seriesをご検討中のお客様へ】
ご注文停止のお知らせ
弊社製品をご検討いただき、誠にありがとうございます。現在、予想を上回るご注文により、生産が追いつかないため、ご注文およびデモ評価の受付を一時停止させていただいております。再開時期については、生産状況を見ながらご案内いたします。ご不便をおかけしますこと、心よりお詫び申し上げますとともに、何卒ご理解いただけますようお願い申し上げます。
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡
ERA-600シリーズ
- 計測・分析装置
高分解能SEM観察とナノオーダーの3次元表面
形状測定、粗さ解析が行えるERAシリーズの中核機を一新
形状測定、粗さ解析が行えるERAシリーズの中核機を一新
製品特徴
フィールドエミッション三次元粗さ解析走査電子顕微鏡
高精度・高分解能表面形状測定機の決定版。
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能！
精密工学会技術賞を受賞。
ERAシリーズで何ができるのか？何がわかるのか？
ERAシリーズで何ができるのか？何がわかるのか？
組成情報を排除し、凹凸コントラストだけの画像に。
凹凸感の曖昧な通常のSEM像、画像から確実に凹凸の判断ができ、さらに形状測定も行える。
凹凸感の曖昧な通常のSEM像、画像から確実に凹凸の判断ができ、さらに形状測定も行える。
各種表面性状パラメータが得られます
- 三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータが得られます。
- これらのSEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事により、効率的にデータ管理できます。これにより論文、報告書の作成効率も格段に高まります。
三次元鳥瞰図
等高線図
世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
凹凸感の曖昧な通常のSEM像とは異なり、確実に凹凸の判断ができる独自の凹凸二次電子像、また、組成コントラストを強調した二次電子像など、試料から様々な情報が得られます。
さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。
さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。
下の画像は同一視野における左「組成強調二次電子像」と右「凹凸強調二次電子像」との見え方の違い。
組成強調二次電子像 倍率 ×150
凹凸強調二次電子像 倍率 ×150
縦方向・横方向ともに高い分解能
独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、微細な表面形状を確実に捕らえます。
高い操作性
- 使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレーション。
- オート機能を搭載し、簡単な操作を実現しました。また積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。
試料へのダメージが低い
- 電子プローブで試料表面を高速にスキャンし測定するため、試料表面を傷つける事はありません。
- 照射電流量も10 pA以下と極めて小さくビームダメージに弱いサンプルも測定する事が出来ます。
高いメンテンス性
独自の長寿命電子源（ショットキー型）を搭載しているため、日常のメンテナンスはほとんど不要です。
3D元マッピング EDSオプション装着
組成強調二次電子像倍率 ×2,000
凹凸強調二次電子像 倍率 ×2,000
同一視野のEDS元素マッピング像
3D元素マッピング像
赤:Ca、青:S、緑:Al
赤:Ca、青:S、緑:Al
拡張パネル＋ジョイスティック 装着例
EDS＋EBSD オプション装着例
オプション
ENT-ERA（SEM、EBSD）
測定座標共有化ホルダーシステム
ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENT-NEXUS、ENTシリーズとの共通試料ホルダーです。
どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置であり、連携させることで装置単体での性能を大きく拡張した解析結果を得ることができます。
どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置であり、連携させることで装置単体での性能を大きく拡張した解析結果を得ることができます。
- 試料の取り外し、再固定の手間を省き、スムーズに装置間の試料移動が行えます。
- ERAシリーズ、ENT-NEXUS、ENTシリーズ装置間でのステージ座標変換が容易、同一視野、同一測定場所の選定が極短時間かつピンポイントで行えます。
Degital Surf社 MountainsMap®
Topo ソフトウェアー
Degital Surf社のWebサイトより、オプションのソフトウェアーについて詳細をご確認いただけます。
主な仕様
| ERA-600FE | ERA-600 | |
|---|---|---|
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | プリセンタードタングステン |
| 加速電圧 | 0.3～30 kV | 0.3～35 kV |
| 横方向分解能 | 1.2 nm:30 kV 5 nm:1 kV |
3.5 nm:35 kV |
| 倍率 | x20～600,000倍 | x10～400,000倍 |
| 試料寸法 | Φ150 ×ｔ15 mm(最大径） Φ50 ×ｔ30 mm(最大厚） |
|
| 試料駆動 | X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動 | |
| 二次電子検出器 | 4本 (a,b,c,d) | |
| 高さ方向分解能 | 1 nm | |
| 測定方向 | X方向、Y方向 | |
| 測定データ数 | 三次元測定データ最大1,728万点、1ライン測定データ最大32,767点 | |
| 表面性状 パラメータ算出 |
鳥瞰図、等高線、山数、面積率、粒度、表面積 JIS規格パラメータ (JIS B 0601-2001に準拠) |
|
| オプション | 操作パネル、ジョイスティック、BSE検出器、EDS、WDS、EBSD、予備排気室 (4インチ型)、 ナビゲーションカメラ、各種試料ホルダー、Degital Surf社Mountainsmapソフトウェア― |
|
関連資料ダウンロード
- ERA-600、ERA-600FEによる精密切削工具の刃先評価例
- 電子線を用いた表面形状評価技術 出典：「表面技術」誌 第57巻8号p18～22
- ERA-8900・8900FEの原理
※ERA-8900、ERA-8900FEは、それぞれERA-600、ERA-600FEの先代モデルです。
