電子線三次元粗さ解析装置
ERA-9200
【ERA seriesをご検討中のお客様へ】
ご注文停止のお知らせ
弊社製品をご検討いただき、誠にありがとうございます。現在、予想を上回るご注文により、生産が追いつかないため、ご注文およびデモ評価の受付を一時停止させていただいております。再開時期については、生産状況を見ながらご案内いたします。ご不便をおかけしますこと、心よりお詫び申し上げますとともに、何卒ご理解いただけますようお願い申し上げます。
製品特徴
1nm以下の超高分解能・低加速・三次元測定を実現！
セミインレンズSEMによる形状解析を実現しました。
セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1 kVで高さ方向1 nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。
SEM視野そのまま三次元形状測定、表面粗さ解析
超高分解能のSEM観察視野において、ピンポイントで三次元形状データ取得が可能です。
表面粗さ解析機能によって Ra、Rz などのJIS規格、ISO規格パラメータ算出が可能です。
低加速電圧・高分解能
100V以下から観察が可能で、1kV時の分解能は横方向分解能0.7nmを達成しています。
セミインレンズ方式を採用し、15kV時で最高分解能0.5nmを達成いたしました。
徹底したコンタミネーション対策
ドライポンプ (完全オイルフリー) の採用で、徹底したコンタミネーション対策を実施しました。
インターロック機構
対物レンズと試料の接触を回避するインターロック機構を搭載しました。また、試料室内CCDモニターを標準装備しています。
アプリケーションギャラリー
SEM画像
超高解像度電子線レジスト
ご提供：産業技術総合研究所（80万倍）
ご提供：産業技術総合研究所（80万倍）
Liイオン電池電極材料
ご提供：日本スピンドル製造株式会社（25万倍）
ご提供：日本スピンドル製造株式会社（25万倍）
カーボンナノチューブの観察結果（1 kV 40万倍）
加速電圧による金粒子観察結果の比較（20万倍）
三次元画像
試料：Liイオン電池電極材料
試料ご提供：日本スピンドル製造株式会社
試料ご提供：日本スピンドル製造株式会社
3D解析 段差測定
オプション
描画パターン解析ソフト
画像解析ソフトウェアは、ELIONIX製の描画装置で描画したSEM画像の解析に特化した画像解析ソフト。
主に、平行に並んだ直線図形（Line）、格子状に並んだ円状の図形（Dot）を観察したSEM画像の測長・解析を行い、描画結果を分析。専用描画パターンから、フィールドつなぎの評価も可能。
直線図形（Line）SEM像
直線図形（Line）測長・解析結果
主な仕様
SEM観察系
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 |
|---|---|
| ランディング電圧 | 100 V～30 kV |
| 二次電子検出器 | Top検出器 4式 Upper検出器 2式 Lower検出器 1式 |
| 分解能 | 0.4 nm（ランディング電圧30 kV） 0.5 nm（ランディング電圧15 kV） 0.7 nm（ランディング電圧1 kV） |
| 倍率 | ｘ60～3,000,000倍 |
| 試料寸法 | Φ100 mm、Φ36xH10 mm、Φ26xH16 mm |
| 試料駆動 | X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動 |
三次元測定系
| 縦方向分解能 | 1 nm |
|---|---|
| 測定方向 | X方向、Y方向 |
| 測定データ点数 | 最大432万点 |
| データ記録方法 | Windows対応 |
| 解析 | 等高線、鳥瞰図、山数、粒度面積率、表面積、JIS規格パラメータ |
アプリケーション
ERA-9200
超高解像度電子線レジスト
ご提供：産業技術総合研究所（80万倍）
ご提供：産業技術総合研究所（80万倍）
Liイオン電池電極材料
ご提供：日本スピンドル製造株式会社（25万倍）
ご提供：日本スピンドル製造株式会社（25万倍）
カーボンナノチューブ
先端部分(40万倍)
先端部分(40万倍)
Liイオン電池電極材料
ご提供：日本スピンドル製造株式会社
ご提供：日本スピンドル製造株式会社
3D解析 段差測定
