三次元粗さ解析走査電子顕微鏡
ERA-600SP
【ERA seriesをご検討中のお客様へ】
ご注文停止のお知らせ
弊社製品をご検討いただき、誠にありがとうございます。現在、予想を上回るご注文により、生産が追いつかないため、ご注文およびデモ評価の受付を一時停止させていただいております。再開時期については、生産状況を見ながらご案内いたします。ご不便をおかけしますこと、心よりお詫び申し上げますとともに、何卒ご理解いただけますようお願い申し上げます。
製品特徴
直径400 mmまでのサンプルをそのまま取り付け、
高分解能電子ビームを用いて、極微細な形状解析が可能
最大φ400 mmの円筒試料を取り付け、側面（曲面）の観察や元素分析（オプション）を行うことが出来ます。
標準ステージと差し替えて、通常の高倍率、3D測定も可能。
観察ステージ（例）
サンプル形状やサイズによって、チャンバー／ステージをカスタムでご提案いたします。
元素分析、結晶方位解析（オプション）
- 元素分析や結晶方位解析などのオプション機能追加が可能。
- 標準のSEM画像、形状測定データに加え、元素マッピング像など多彩な情報が短時間で得られます。
- 3D元素マッピング機能では、コート材剥離、異元素付着など、元素の高さ情報をナノ～ミクロンオーダーで解析できます。
多彩なオプション
各種オプションをご用意しております。詳細はお問い合わせください。
- 各種試料ホルダー
- ナビゲーションカメラ
- ジョイスティック
- 3D元素マッピング
- 各種コーター
- エネルギー分散型X線分析装置（EDS）
- 結晶方位解析装置（EBSP）
大型サンプル仕様
| 高解像度システム | 標準システム | |
|---|---|---|
| 分解能 | 1.2 nm(30 kV) 5 nm (1 kV) | 3.5 nm(35 kV) |
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | プリセンタードタングステン |
| 加速電圧 | 0.3 ～ 30 kV | 0.3 ～ 35 kV |
| 倍率 | 20 ～ 600,000倍 | 10 ～ 400,000倍 |
| （大型サンプルの実用倍率 2,000倍） | ||
| 検出器 | 二次電子検出器4本 | |
| 像観察 | 差信号凹凸強調二次電子像、和信号組成強調二次電子像、通常の二次電子像 | |
| 画像形式 | BMP、JPG、TIFF、PNG | |
| サンプル最大寸法 | 試料サイズについてはご相談ください。 （試料例：Φ400 mm、t=20 mm 等） |
|
| サンプル最大重量 | 15 kg（15 kg以上でも応相談） | |
| サンプル移動範囲 | 試料サイズによる。 移動量例） Y400 mm、T 0～45° R 360°エンドレス（モーター駆動 |
|
| サンプル交換 | 大気開放式 | |
| オプション | 試料室CCDカメラ エネルギー分散型X線分析装置 局所低真空機構 |
|
おことわり
このHPに掲載されている製品情報は、製品の代表的な特長や性質について説明したもので、規格に関する規定事項として明示したもの以外は、製品の保証を意味するものではありません。
このHPに掲載されている製品の誤用、または不適切な使用などによって生じた損害につきましては、一切の責任を負いかねますのであらかじめご了承ください。また、製品情報は予告無しに変更される場合があります。最新の情報につきましては本社営業所までお問い合わせください。なお、このHPに掲載されている内容の複製や無断転載はご遠慮ください。
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