超微小押し込み硬さ試験機『ENTシリーズ』
計測･分析装置
「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。
『ENT シリーズ』ラインアップ
※中国では装置名 ELIONIX-5
「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。
表面力（接触した2つの物質表面を引き離すために必要な力）を容易に、定量的に測定するオプション機能を、
高精度な超微小押し込み硬さ試験機（ナノインデンテーション試験機ENT-5/5X専用）に搭載できます。
【ERA seriesをご検討中のお客様へ】
ご注文停止のお知らせ弊社製品をご検討いただき、誠にありがとうございます。現在、予想を上回るご注文により、生産が追いつかないため、ご注文およびデモ評価の受付を一時停止させていただいております。再開時期については、生産状況を見ながらご案内いたします。ご不便をおかけしますこと、心よりお詫び申し上げますとともに、何卒ご理解いただけますようお願い申し上げます。
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電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』
計測･分析装置
セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。
計測･分析装置
独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。電子プローブを用いたSEM測定方式は、
｢JIS B 0681-6｣、｢ISO 25178-6｣ 表面性状測定方法の分類において、それぞれ｢角度分解SEM法｣、｢Angle-resolved SEM｣と定義された測定方法です。
信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。
JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます
世界唯一、４本の二次電子検出器搭載による立体感画像
縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる
優れた操作性
測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません
1990年度精密工学会技術賞を受賞
※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語｢粗さ｣
が含まれますが、混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの
装置名をそのまま踏襲しています。
『ERA シリーズ』ラインアップ
最大φ400㎜の重量物のある大型円筒試料をそのままステージに取り付け、電子ビーム観察から、2次電子による極微細３D形状測定と元素分析まで複合的に行うことが可能です。標準ステージも搭載しており、通常のSEM観察から３D 解析を行うことも出来ます。
計測･分析装置
高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』
ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた、独自の新型イオン銃の採用により、超微細構造膜を実現しました。
スパッタ粒子径1nm以下、高分解能SEM用試料の導電コーティング材料として相応しい材料であるタングステンのコーティングが手軽に行えます。
コーティング中に試料表面温度が上昇しないため、熱ダメージの少ないコーティングが行えます。
短時間でコーティングできます。
（真空度1Pa到達後所要時間３～５分）
回り込み良く、狭い隙間にも付着力に優れたコーティングが可能。
コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。
ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しておりますが、
ご要望に応じて各種ターゲット材に換えることができます。
