微細加工装置製品一覧

40年の歴史が生み出した、信頼のラインアップ
1975年の創業以来、微細加工技術の目覚しい進歩に対し、微細加工分野、計測・分析の各分野において貢献して
まいりました。品質と性能を徹底的に追求し、これからも最先端のナノテク製品をお届けしてまいります。
ERA-600FE 製品ページへ

ERAシリーズの特徴

独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。電子プローブを用いたSEM測定方式は、
「JIS B 0681-6」、「ISO 25178-6」 表面性状測定方法の分類において、それぞれ「角度分解SEM法」、「Angle-resolved SEM」と定義された測定方法です。
信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。

 
・JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます
・世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
・縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる
・優れた操作性
・測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません
1990年度精密工学会技術賞を受賞
 
※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語「粗さ」
 が含まれますが、混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの
 装置名をそのまま踏襲しています。

『ERAシリーズ』ラインアップ

ERA-9000
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>TFE電子銃搭載モデル
世界で唯一。
セミインレンズ方式で1nm以下の超高分解能・低加速・三次元測定を実現!


ERA-600FE
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>TFE電子銃搭載モデル
高精度・高分解能三次元表面形状測定機の決定版。
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能。

ERA-600
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>タングステン電子銃搭載モデル
三次元測定前の面倒な調整作業を自動化し、観察しながらワンクリックで三次元測定や多点自動測定が行えます。

ESF-5000Plus 製品ページへ

ESF-5000Plusの特徴

原子間力顕微鏡や接触角計では困難であった試料表面の評価をエリオ二クスが培ってきた精密測定技術、精密位置決め技術により、表面力を容易に測定できます。
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ENT-2100 製品ページへ

ENTシリーズの特徴

ナノインデンテーションテスターを永年の精密測定技術を基に開発しました。新しい試験機分野でも群を抜いた再現性と安定性で信頼されています。

・あらゆる素材の最表面の硬さを、ナノオーダーで測定できます。
 微小領域を精密に測定します。

・簡易な操作で、安定した硬さのデータを短時間で得られます。

・ISO 14577-1 準拠。

『ENTシリーズ』ラインアップ

ENT-3100
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>荷重範囲 0.5μN~10mN
(最小0.1μN可能)
軟質材料(弾性係数:数Gpa以下)や押込み深さ10nm以下の測定に対して、優れた再現性と安定性が得られます。
UV硬化樹脂、Low-k膜等の機能性樹脂膜や、その他・シリコーンゴム等の弾性材料、DLC保護膜等の極薄い力学特性評価に威力を発揮します。
ENT-2100
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>荷重範囲 5μN~100mN
(最小1μN可能)
数nmの押込み深さで、優れた再現性と安定性。
超微小押し込み硬さ試験機(超軽荷重型)ENT-2100が硬さ評価の常識を打ち破ります!
ENT-1100b
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>荷重範囲 98μN~980mN
(最小19μN可能)

従来の硬さ試験機では不可能だった、薄膜や極表面層をはじめ、あらゆる素材の硬度測定ができます!
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ESC-101の特徴

ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた、独自の新型イオン銃の採用により、超微細構造膜を実現しました。

・スパッタ粒子径1nm以下、高分解能SEM用試料の導電コーティ
 ング材料として相応しい反面、硬くスパッタレートの低い材料
 であるタングステンのコーティングが手軽に行えます。
 
・コーティング中に試料表面温度が上昇しないため、熱ダメ
 ージのないコーティングが行えます。
 
・短時間でコーティングできます。
 (真空度1Pa到達後所要時間3~5分)
 
・回り込み良く、狭い隙間にも付着力に優れたコーティングが
 可能。
 コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。
 
・ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しており
 ますが、ご要望に応じて各種ターゲット材に換えること
 ができます。
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