計測・分析装置

電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』

新製品

計測・分析装置

セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。 
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。 
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。

セミインレンズ超高分解能走査電子顕微鏡。 
加速電圧1kVでの分解能0.7nm。 
セミインレンズSEMによる形状測定、粗さ解析を実現しました。

独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。電子プローブを用いたSEM測定方式は、 
「JIS B 0681-6」、「ISO 25178-6」 表面性状測定方法の分類において、それぞれ「角度分解SEM法」、「Angle-resolved SEM」と定義された測定方法です。 
信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。

JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます

世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像

縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる

優れた操作性

測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません

1990年度精密工学会技術賞を受賞

※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語「粗さ」 
 が含まれますが、混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの 
 装置名をそのまま踏襲しています。

『ERA シリーズ』ラインアップ

電子ビームによる超微細計測・解析技術を用いて、精密加工ツールの刃先などの形状や粗さを数値化します。光方式などの既存測定手法では困難だった、ナノレベルでの比較・解析を実現します。

最大φ400㎜の重量物のある大型円筒試料をそのままステージに取り付け、電子ビーム観察から、2次電子による極微細3D形状測定と元素分析まで複合的に行うことが可能です。標準ステージも搭載しており、通常のSEM観察から3D 解析を行うことも出来ます。

物質・材料研究機構と共同開発した装置であり、電子線で試料表面を走査してSEM像と表面水素イオン像の双方を撮影し、表面形状や表面状態を反映した解析を行うことが可能です。

高精度・高分解能三次元表面形状測定機の決定版。 
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能。

超微小押し込み硬さ試験機『ENTシリーズ』

計測・分析装置

「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。 
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。

『ENT シリーズ』ラインアップ

※中国では装置名 ELIONIX-5

「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。 
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。

大きな試料をナノインデンテーション試験可能な大型モデル。 
高荷重・低荷重ユニットの同時搭載が可能な大型フレーム。 
様々な機構を導入可能な拡張範囲の広いシールドケース。

表面力(接触した2つの物質表面を引き離すために必要な力)を容易に、定量的に測定するオプション機能を、 
高精度な超微小押し込み硬さ試験機(ナノインデンテーション試験機ENT-5/5X専用)に搭載できます。

計測・分析装置

高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』

ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた、独自の新型イオン銃の採用により、超微細構造膜を実現しました。

スパッタ粒子径1nm以下、高分解能SEM用試料の導電コーティング材料として相応しい材料であるタングステンのコーティングが手軽に行えます。

コーティング中に試料表面温度が上昇しないため、熱ダメージの少ないコーティングが行えます。

短時間でコーティングできます。 
 (真空度1Pa到達後所要時間3~5分)

回り込み良く、狭い隙間にも付着力に優れたコーティングが可能。 
 コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。

ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しておりますが、
ご要望に応じて各種ターゲット材に換えることができます。

ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた、独自の新型イオン銃の採用により、超微細構造膜を実現しました。

お問い合わせ

製品やカタログなど全てのお問い合わせはコチラから。
お電話でのお問い合わせ
受付時間は平日(月~金)の8:30-17:30までとなります。
FAQ
よくあるご質問はこちらからご覧いただけます。

Contact by E-mail

Click here for inquiries about products and catalogs.

Contact by Phone

Business hours are from 8:30 to 17:30 on weekdays (Monday to Friday).