微細加工装置製品一覧

40年の歴史が生み出した、信頼のラインアップ
1975年の創業以来、微細加工技術の目覚しい進歩に対し、微細加工分野、計測・分析の各分野において貢献して
まいりました。品質と性能を徹底的に追求し、これからも最先端のナノテク製品をお届けしてまいります。
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ERAシリーズの特徴

独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。電子プローブを用いたSEM測定方式は、
「JIS B 0681-6」、「ISO 25178-6」 表面性状測定方法の分類において、それぞれ「角度分解SEM法」、「Angle-resolved SEM」と定義された測定方法です。
信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。

 
・JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます
・世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
・縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる
・優れた操作性
・測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません
1990年度精密工学会技術賞を受賞
 
※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語「粗さ」
 が含まれますが、混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの
 装置名をそのまま踏襲しています。

『ERAシリーズ』ラインアップ

ERA-9000
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>TFE電子銃搭載モデル
世界で唯一。
セミインレンズ方式で1nm以下の超高分解能・低加速・三次元測定を実現!


ERA-600FE
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>TFE電子銃搭載モデル
高精度・高分解能三次元表面形状測定機の決定版。
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能。

ERA-600
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>タングステン電子銃搭載モデル
三次元測定前の面倒な調整作業を自動化し、観察しながらワンクリックで三次元測定や多点自動測定が行えます。

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ENT-NEXUSの特徴

フレームとユニットの自由な組み合わせが可能なモジュール構成を採用し、ナノインデンテーション試験をはじめ表面力測定など多彩な測定が可能。
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ESF-5000Plus 製品ページへ

ESF-5000Plusの特徴

原子間力顕微鏡や接触角計では困難であった試料表面の評価を
エリオ二クスが培ってきた精密測定技術、精密位置決め技術に
より、表面力を容易に測定できます。
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ESC-101 製品ページへ

ESC-101の特徴

ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた、独自の新型イオン銃の採用により、超微細構造膜を実現しました。

・スパッタ粒子径1nm以下、高分解能SEM用試料の導電コーティ
 ング材料として相応しい反面、硬くスパッタレートの低い材料
 であるタングステンのコーティングが手軽に行えます。
 
・コーティング中に試料表面温度が上昇しないため、熱ダメ
 ージのないコーティングが行えます。
 
・短時間でコーティングできます。
 (真空度1Pa到達後所要時間3~5分)
 
・回り込み良く、狭い隙間にも付着力に優れたコーティングが
 可能。
 コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。
 
・ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しており
 ますが、ご要望に応じて各種ターゲット材に換えること
 ができます。
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