微細加工装置製品一覧

創業45年を迎える歴史が生み出した信頼のラインアップ
1975年の創業以来、微細加工技術の目覚しい進歩に対し、微細加工分野、計測・分析の各分野において貢献して
まいりました。品質と性能を徹底的に追求し、これからも最先端のナノテク製品をお届けしてまいります。

※製品のご購入を検討されているお客様向けに、製品デモンストレーションのご予約を随時受け付けております。
 お気軽にお問い合わせくださいませ。

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ERA-9200の特徴

セミインレンズ超高分解能走査電子顕微鏡。
加速電圧1kVでの分解能0.7nm。
セミインレンズSEMによる形状測定、粗さ解析を実現しました。
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ERAシリーズの特徴

独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。電子プローブを用いたSEM測定方式は、
「JIS B 0681-6」、「ISO 25178-6」 表面性状測定方法の分類において、それぞれ「角度分解SEM法」、「Angle-resolved SEM」と定義された測定方法です。
信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。

 
・JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます
・世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
・縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる
・優れた操作性
・測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません
1990年度精密工学会技術賞を受賞
 
※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語「粗さ」
 が含まれますが、混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの
 装置名をそのまま踏襲しています。

『ERAシリーズ』ラインアップ

ERA-nanoR
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>新製品
電子ビームによる超微細計測・解析技術を用いて、精密加工ツールの刃先などの形状や粗さを数値化します。光方式などの既存測定手法では困難だった、ナノレベルでの比較・解析を実現します。

ERA-600SP
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>新製品
最大φ400㎜の重量物のある大型円筒試料をそのままステージに取り付け、電子ビーム観察から、2次電子による極微細3D形状測定と元素分析まで複合的に行うことが可能です。標準ステージも搭載しており、通常のSEM観察から3D 解析を行うことも出来ます。

ERA-600Series
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>TFE電子銃搭載モデル
高精度・高分解能三次元表面形状測定機の決定版。
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能。

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ENT-5の特徴

「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。
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ESC-101の特徴

ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた、独自の新型イオン銃の採用により、超微細構造膜を実現しました。

・スパッタ粒子径1nm以下、高分解能SEM用試料の導電コーティ
 ング材料として相応しい反面、硬くスパッタレートの低い材料
 であるタングステンのコーティングが手軽に行えます。
 
・コーティング中に試料表面温度が上昇しないため、熱ダメ
 ージのないコーティングが行えます。
 
・短時間でコーティングできます。
 (真空度1Pa到達後所要時間3~5分)
 
・回り込み良く、狭い隙間にも付着力に優れたコーティングが
 可能。
 コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。
 
・ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しており
 ますが、ご要望に応じて各種ターゲット材に換えること
 ができます。
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