よくあるご質問

各機種について

デモンストレーションを行なっていただけますか?

はい、本社ショールームには各機種最新のデモ機を設置しており、無償でご対応させていただいております。 
弊社専任スタッフによる適切なサンプリングとオペレーションにより、その場で各機種の性能をご確認いただけます。 
どうぞお気軽にお申し付けください。
又、アプリケーションのご相談も承ります。
詳しくは、本社営業部 042-626-0611 又は、西日本営業所 06-6711-4570 までご連絡ください。

電子ビーム描画装置 ELSシリーズについて

加速電圧はどのように選択すれば良いですか?

加速電圧の違いは、最小加工寸法やスループットに影響を及ぼします。 
ご用途に合わせて最適な加速電圧をご提案致しますのでお問い合わせ下さい。

どのような環境に設置可能ですか?

温度・湿度がコントロールされた環境が必要となります。
また、最高性能を発揮するために床振動や騒音、磁場変動の基準を設けております。 
弊社では設置環境の事前調査を行うことで、候補の中から適した場所をご提案しております。

CADはどのようなフォーマットで作成すれば良いですか?

DXFやGDSⅡ形式よりエリオニクスフォーマットへ変換が可能です。

描画可能なサンプルに制限はありますか?

材料はSiやSiO2、化合物半導体で、表面は鏡面が基本となります。 
真空中で扱えないサンプルは使用不可となります。
その他サンプルをご検討される場合はお問い合わせ下さい。

描画可能なサンプルサイズを教えて下さい。

装置仕様によって2mm角~300mmウェハーまで対応可能です。
その他サイズをご検討される場合はお問い合わせ下さい。

超微小押し込み硬さ試験機 ENTシリーズについて

どのような試験規格に対応していますか?

ISO14577 Part1(計装化押込み硬さ試験および材料パラメータ第一部:試験方法) 
JIS Z 2255(超微小負荷硬さ試験方法) 
JIS Z 8844 (微小粒子の破壊強度及び変形強度の測定方法) 
に対応しています。

液体(ゲルなど)は測定できますか?

測定の開始点(表面)が見つけられないため、測定できません。

どの程度軟らかいものまで、測定できますか?

弾性率が3-4[MPa]程度の軟らかさのものまで、測定できます。

測定データの取捨選択方法は?

着目する解析値での、最大最小値を何点か除いたり、同じく解析値での、平均値±標準偏差の範囲外を除いたりとする方法を良く使用しています。
ただ、データのばらつきも貴重な情報だというように考えていますので、できるだけ全データを採用できるような、試料準備(前処理)をお勧め致します。

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