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製品案内

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微細加工装置

電子ビーム描画装置
 『ELS-F150』
      加速電圧 150kV

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電子ビーム描画装置
 『ELSシリーズ』 
  加速電圧 125/100/50kV

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超高スループット電子ビーム加工装置
『ELF-10000』 新製品

電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』

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ECRイオンエッチング・成膜装置『EISシリーズ』

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小型ECRイオンシャワー装置『EIS-200DE』
新製品

計測・分析装置

電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9000』  
 
セミインレンズ FE-3D・SEM

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三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600FE』 
 FE-3D・SEM  Quad₋SED  

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三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-600』
 3D・SEM   Quad₋SED

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超微小押し込み硬さ試験
機『ENT-NEXUS』 
ナノインデンテーションテスター

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高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』 

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トピックス

トピックス一覧
2020年 6月
在宅勤務終了のお知らせ
   政府より発令された緊急事態宣言の解除に伴い、在宅勤務を終了し、
        6月より、通常勤務となりました。
       
今後も、感染拡大防止を最優先とし、事業を継続してまいります。
        お客様、関係者の皆様には、ご理解とご協力賜りますよう、
        引き続きよろしくお願いいたします。
2020年 4月
新型コロナウイルス感染防止についてのお知らせ
   政府より緊急事態宣言が発令されたことを受け、当社対策について、
        以下のとおりお知らせいたします。
        ・一部従業員の時差出勤、および在宅勤務を実施しております。
        ・不要不急の出張を制限しております。
        ・会議はWeb会議を推奨しております。
        ・来訪者に対しては、体調、海外渡航歴についてご確認頂くと共に、
         マスクご着用・アルコール消毒をお願いしております。
        緊急事態宣言の発令中、ならびに対策期間中は、感染拡大防止を
        最優先とし、事業を継続してまいります。
        お客様、関係者の皆様には、ご理解とご協力賜りますよう、
        引き続きよろしくお願いいたします。
2020年 1月
nano tech2020 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議より、ナノファブリケーション賞を受賞いたしました。
2020年 1月
新商品のお知らせ
新製品 小型イオンシャワー装置EIS-200DEを発表いたしました。
2020年 1月
新商品のお知らせ
新製品 超高スループット電子ビーム加工装置ELF-10000を発表いたしました。
2019年 3月
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600ERA-600FEの製品ページに「ERA-600、ERA-600FEによる精密切削工具の刃先評価」配布資料を追加いたしました。
2019年 2月
修理料金改定についてのお知らせ。                     2019年2月吉日
   平素はエリオニクス製品をご愛用いただきまして、誠にありがとうございます。
        このたび、2020年4月1日以降のご注文受付分より修理料金ならびに電子銃交換費用を改定すること
       
いたしました。
2019年 1月
新聞・雑誌掲載
日本経済新聞に弊社の超高速電子ビーム描画装置UHSEBの記事が掲載されました。
NEDO戦略的基盤技術高度化支援事業(プロジェクト委託型)
               『半導体微細加工 コスト減 高速描画装置を開発   
2018年12月
新商品のお知らせ
新製品 小型イオンシャワー装置EIS-200ERPを発表いたしました。
2018年 4月
新聞・雑誌掲載
TAMA Cluster: The Technological Powerhouse In Western Tokyo
(一社)首都圏産業活性化協会(TAMA産業活性化協会)の活動の中で特色ある企業として
               弊社が『Forbes JapanVoice』に紹介されました。
2018年 2月
新商品のお知らせ
新製品 超高精細高精度電子ビーム描画装置ELS-F150を発表いたしました。
2017年 9月
新商品のお知らせ
新製品 超微小押し込み硬さ試験機ENT-NEXUSを発表いたしました。
2016年 1月
新商品のお知らせ
新製品 高スループット電子ビーム描画装置ELS-HS50を発表いたしました。
2015年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600を発表いたしました。
2014年 9月
新商品のお知らせ
新製品 加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置ELS-S50を発表いたしました。
2014年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600FEを発表いたしました。
2014年 3月
当社が経済産業省よりグローバルニッチトップ企業100選に選定、表彰されました。
2014年 3月
BS-TBS報道経済番組グローバルナビフロントに弊社本目会長が生出演いたしました。
2014月 1月
新商品のお知らせ
新製品 超高精度電子ビーム描画装置ELS-F100を発表しました。
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