電子ビーム描画装置
『ELS-F150』
加速電圧 150kV
電子ビーム描画装置
『ELSシリーズ』
加速電圧 125/100/50kV
電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』
ECRイオンエッチング･成膜装置『EISシリーズ』
小型ECRイオンシャワー装置『EIS-200ERP』
新製品 エッチングと成膜も
ICPエッチング装置
『EIS‐700』
電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9000』
セミインレンズ FE-3D･SEM
三次元粗さ解析走査電子
顕微鏡『ERA-600FE』
FE-3D･SEM Quad₋SED
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-600』
3D･SEM Quad₋SED
超微小押し込み硬さ試験
機『ENT-NEXUS』
ナノインデンテーションテスター
表面力測定装置
『ESF-5000Plus』
高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』
- 2019年10月
- この度の台風19号による災害により被害を受けられた皆様に対しまして、心からお見舞いを申し上げます。一日も早い復旧をお祈りいたします。
- 2019年10月
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世界最大ナノテクノロジー総合展『nano tech 2020』展示会に出展いたします。 日時:2020年1月29日(水)～31日(金) 時間 10:00～17:00
会場:東京ビッグサイト 西1ホール 弊社小間番号 1W-C20
尚、出展装置は決まり次第掲示いたします。
多数の皆様のご来訪心よりお待ちしております。 -
- 2019年 2月
- 『修理料金改定についてのお知らせ。』 2019年2月吉日
平素はエリオニクス製品をご愛用いただきまして、誠にありがとうございます。
このたび、2020年4月1日以降のご注文受付分より修理料金ならびに電子銃交換費用を改定すること
といたしました。
- 2019年 1月
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日本経済新聞に弊社の超高速電子ビーム描画装置UHSEBの記事が掲載されました。
NEDO戦略的基盤技術高度化支援事業（プロジェクト委託型）
『半導体微細加工 コスト減 高速描画装置を開発』
- 2018年12月
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新製品 小型イオンシャワー装置『EIS-200ERP』を発表いたしました。
- 2018年 4月
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『TAMA Cluster: The Technological Powerhouse In Western Tokyo』
(一社)首都圏産業活性化協会(TAMA産業活性化協会)の活動の中で特色ある企業として
弊社が『Forbes JapanVoice』に紹介されました。
- 2018年 2月
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新製品 超高精細高精度電子ビーム描画装置『ELS-F150』を発表いたしました。
- 2017年 9月
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新製品 超微小押し込み硬さ試験機『ENT-NEXUS』を発表いたしました。
- 2017年 2月
- 表面力測定装置『ESF-5000Plus』の製品ページに「粘着材料4種測定比較」配布資料を追加いたしました。
- 2016年 8月
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新製品 表面力測定装置『ESF-5000Plus』を発表いたしました。
- 2016年 1月
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新製品 高スループット電子ビーム描画装置『ELS-HS50』を発表いたしました。
- 2015年 8月
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新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-600』を発表いたしました。
- 2014年 9月
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新製品 加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置『ELS-S50』を発表いたしました。
- 2014年 8月
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新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-600FE』を発表いたしました。
- 2014年 3月
- 当社が経済産業省より『グローバルニッチトップ企業100選』に選定、表彰されました。
- 2014年 3月
- BS-TBS報道経済番組『グローバルナビフロント』に弊社本目会長が生出演いたしました。
- 2014月 1月
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新製品 超高精度電子ビーム描画装置『ELS-F100』を発表しました。
