電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』｜計測･分析装置｜製品｜エリオニクス ELIONIX INC.

【ERA seriesをご検討中のお客様へ】 ご注文停止のお知らせ: 弊社製品をご検討いただき、誠にありがとうございます。現在、予想を上回るご注文により、生産が追いつかないため、ご注文およびデモ評価の受付を一時停止させていただいております。再開時期については、生産状況を見ながらご案内いたします。ご不便をおかけしますこと、心よりお詫び申し上げますとともに、何卒ご理解いただけますようお願い申し上げます。

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-9200』

計測・分析装置

セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。

・超高分解能のSEM観察視野において、ピンポイントで三次元形状データ取得が可能です。
・表面粗さ解析機能によって Ra、Rz などのJIS規格、ISO規格パラメータ算出が可能です。

・100V以下から観察が可能で、1kV時の分解能は横方向分解能0.7nmを達成しています。
・セミインレンズ方式を採用し、15kV時で最高分解能0.5nmを達成いたしました。

・ドライポンプ (完全オイルフリー) の採用で、徹底したコンタミネーション対策を実施しました。

・対物レンズと試料の接触を回避するインターロック機構を搭載しました。
また、試料室内CCDモニターを標準装備しています。

■SEM画像

超高解像度電子線レジスト
ご提供：産業技術総合研究所
（80万倍）

Liイオン電池電極材料
ご提供：日本スピンドル製造
株式会社（25万倍）

カーボンナノチューブの観察結果（1kV 40万倍）

加速電圧による金粒子
観察結果の比較（20万倍）

■三次元画像

3D解析段差測定

■描画パターン解析ソフト

画像解析ソフトウェアは、ELIONIX製の描画装置で描画したSEM画像の解析に特化した画像解析ソフト。主に、
平行に並んだ直線図形（Line）、格子状に並んだ円状の図形（Dot）を観察したSEM画像の測長・解析を行い、
描画結果を分析。専用描画パターンから、フィールドつなぎの評価も可能。

直線図形（Line）SEM像

直線図形（Line）測長・解析結果

＜SEM観察系＞

電子銃	ZrO/W 熱電界放出型
ランディング電圧	100 V ～ 30 kV
二次電子検出器	Top検出器 4式 Upper検出器　2式 Lower検出器　1式
分解能	0.4nm　（ランディング電圧30kV） 0.5nm　（ランディング電圧15kV） 0.7nm　（ランディング電圧1kV）
倍率	ｘ60 ～ 3,000,000倍
試料寸法	Φ100mm、Φ36 x H10mm、Φ26 x H16mm
試料駆動	X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動

＜三次元測定系＞

縦方向分解能	1 nm
測定方向	X方向、Y方向
測定データ点数	最大432万点
データ記録方法	Windows対応
解析	等高線、鳥瞰図、山数、粒度面積率、表面積、JIS規格パラメータ