2022年は大変お世話になりました。2023年もエリオニクスをどうぞよろしくお願い致します。
弊社では一部の装置ユーザー様や協力企業様宛に年賀状をお送りさせて頂いております。例年、弊社装置を使用してその年の干支を作製し,メインビジュアルとしております。本年はせっかくなので作製プロセスをホームページ上に掲載する運びとなりました。そこで、本年のSEM画像 "宙に浮かせたうさぎ" の作製プロセスについて以下にご紹介致します。作製プロセスや成功したパターンのみならず、失敗例も掲載しておりますのでぜひ最後までご覧下さい。
使用した装置
電子ビーム描画装置:ELS-BODEN
ECRイオンビームスパッタ装置:EIS-200ERP
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡:ERA-600FE