電子ビーム描画装置 ELSシリーズ
イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校 Holonyak Micro ＆ Nanotechnology Lab
Holonyak Micro & Nanotechnology Lab (HMNTL)は、大学に付属する施設としては米国内最大級の研究所です。研究所名は発光ダイオードの発明者であるNick Holonyakにちなんでいます。当研究所の主任技術者であり、弊社装置ユーザーのEdmond Chow氏の声をご紹介いたします。
Holonyak Micro & Nanotechnology Lab (HMNTL)は、大学に付属する施設としては米国内最大級の研究所です。研究所名は発光ダイオードの発明者であるNick Holonyakにちなんでいます。
沖縄科学技術大学院大学 OIST (Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University)
沖縄科学技術大学院大学（OIST: Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University）にて、ELIONIXの電子線描画装置 ELS-BODEN システムが導入されました。
本動画では、OISTで実際に研究に携わるユーザーのおひとりにインタビューを行い、ナノファブリケーション（微細加工）の現場でどのように活用されているかを詳しくご紹介します。