電子ビーム描画装置 ELSシリーズ
沖縄科学技術大学院大学 OIST (Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University)
沖縄科学技術大学院大学（OIST: Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University）にて、ELIONIXの電子線描画装置 ELS-BODEN システムが導入されました。
本動画では、OISTで実際に研究に携わるユーザーのおひとりにインタビューを行い、ナノファブリケーション（微細加工）の現場でどのように活用されているかを詳しくご紹介します。