沖縄科学技術大学院大学 OIST (Okinawa Institute of Science and Technology)

動画紹介

沖縄科学技術大学院大学(OIST)に、ELIONIXの電子ビーム描画装置 ELS-BODEN が導入されました。

本動画では、同装置を使用しているOISTの研究者にインタビューを行い、ナノファブリケーション(微細加工)の現場でどのように活用されているか詳しくご紹介いたします。

ELS-BODENシリーズは高分解能かつ高速に描画が可能であり、世界中の大学・研究機関で採用されています。

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