三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-600シリーズ』
計測・分析装置
フィールドエミッション三次元粗さ解析走査電子顕微鏡
高精度・高分解能表面形状測定機の決定版。
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、
表面性状パラメータ算出がこの一台で可能！
精密工学会技術賞を受賞。
ERAシリーズで何ができるのか？何がわかるのか？
組成情報を排除し、凹凸コントラストだけの画像に。
凹凸感の曖昧な通常のSEM像、
画像から確実に凹凸の判断ができ、さらに形状測定も行える。
各種表面性状パラメータが得られます
・三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータが得られます。
・これらのSEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事により、
効率的にデータ管理できます。これにより論文、報告書の作成効率も格段に高まります。
三次元鳥瞰図
等高線図
世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
・凹凸感の曖昧な通常のSEM像とは異なり、確実に凹凸の判断ができる
独自の凹凸二次電子像、また、組成コントラストを強調した二次電子像
など、試料から様々な情報が得られます。
さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。
下の画像は同一視野における左「組成強調二次電子像」と右「凹凸強調二次電子像」との見え方の違い。
組成強調二次電子像倍率 ×150
凹凸強調二次電子像 倍率 ×150
縦方向・横方向ともに高い分解能
・独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、
微細な表面形状を確実に捕らえます。
高い操作性
・使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレーション。
・オート機能を搭載し、簡単な操作を実現しました。また積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が
得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。
試料へのダメージが低い
・電子プローブで試料表面を高速にスキャンし測定するため、試料表面を傷つける事はありません。
・照射電流量も10pA以下と極めて小さくビームダメージに弱いサンプルも測定する事が出来ます。
高いメンテンス性
・独自の長寿命電子源（ショットキー型）を搭載しているため、日常のメンテナンスはほとんど不要です。
3D元マッピング EDSオプション装着
組成強調二次電子像倍率 ×2,000
凹凸強調二次電子像 倍率 ×2,000
同一視野のEDS元素マッピング像
3D元素マッピング像
赤:Ca、青:S、緑:Al
※ERA-8900、ERA-8900FEは、それぞれERA-600、ERA-600FEの先代モデルです。
ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENT-NEXUS、
ENTシリーズとの共通試料ホルダーです。
どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置で
あり、連携させることで装置単体での性能を大きく拡張し
た解析結果を得ることができます。
･試料の取り外し、再固定の手間を省き、スムーズに装置
間の試料移動が行えます。
･ERAシリーズ、ENT-NEXUS、ENTシリーズ装置間での
ステージ座標変換が容易、同一視野、同一測定場所の選定
が極短時間かつ ピンポイントで行えます。
| ERA-600FE | ERA-600 | ||||||
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | プリセンタードタングステン | |||||
| 加速電圧 | 0.3 ～ 30kV | 0.3 ～ 35kV | |||||
| 横方向分解能 | 1.2nm : 30kV 5nm : 1kV | 3.5nm : 35kV | |||||
| 倍率 | x 20 ～ 600,000倍 | x 10 ～ 400,000倍 | |||||
| 試料寸法 | Φ150 × ｔ15 mm (最大径） Φ50 × ｔ30 mm (最大厚） | ||||||
| 試料駆動 | X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動 | ||||||
| 二次電子検出器 | 4本 (a,b,c,d) | ||||||
| 高さ方向分解能 | 1nm | ||||||
| 測定方向 | X方向、Y方向 | ||||||
| 測定データ数 | 三次元測定データ最大1,728万点、1ライン測定データ最大32,767点 | ||||||
| 表面性状 パラメータ算出 | 鳥瞰図、等高線、山数、面積率、粒度、表面積 JIS規格パラメータ (JIS B 0601-2001に準拠) | ||||||
| オプション | 操作パネル、ジョイスティック、BSE検出器、EDS、WDS、EBSD、予備排気室 (4インチ型)、 ナビゲーションカメラ、各種試料ホルダー、Degital Surf社Mountainsmapソフトウェア― | ||||||
