電子ビーム描画装置「ELS-HAYATE」を発表しました。
業界最大のフィールドサイズ5mmの一括描画、最大ビーム電流800nAの大電流電子光学系を採用、業界最速スキャンクロック400MHzの最新機種です。
さらに高スループットで高品質な描画を実現いたします。
This is the latest model with the industry's fastest 400MHz scan clock and the industry's largest field size of 5mm batch drawing, high-current electron optical system with a maximum beam current of 800nA.
Furthermore, we will realize high-quality drawing with high throughput.
