新製品情報（2022年以前の過去のお知らせはこちら）
新製品情報（～2022年）
電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』及び、 電子ビーム エッジ解析装置『ERA-nanoR』、 超大型非破壊観察装置『ERA-600SP』、 超微小押し込み硬さ試験機『ENT-5』を発表いたしました。
電子線三次元粗さ解析装置「ERA-9200」を発表しました
セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速電圧による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。
電子ビームエッジ解析装置「ERA-nanoR」を発表しました。
電子ビームによる超微細計測・解析技術を用いて、精密加工ツールの刃先などの形状や粗さを数値化します。光学式などの既存測定手法では困難だった、ナノレベルでの比較・解析を実現します。
超大型非破壊観察装置「ERA-600SP」を発表しました。
最大φ400㎜かつ重量のある大型円筒試料をそのままステージに取り付け、電子ビーム観察から、2次電子による極微細３D形状測定と元素分析まで複合的に行うことが可能です。
標準ステージも搭載しており、通常のSEM観察から３D 解析を行うことも出来ます。
超微小押し込み硬さ試験機「ENT-5」を発表しました。
ENT-5の製品ページへ「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。
