最大長径400mm 超大型非破壊観察装置『ERA-600SP』
計測・分析装置
直径400mmまでのサンプルをそのまま取り付け、高分解能電子ビームを用いて、極微細な形状解析が可能
最大φ400mmの円筒試料を取り付け、側面（曲面）の観察や元素分析（オプション）を行うことが出来ます。
標準ステージと差し替えて、通常の高倍率、3D測定も可能。
観察ステージ（例）
サンプル形状やサイズによって、チャンバー／ステージをカスタムでご提案いたします。
元素分析、結晶方位解析（オプション）
・元素分析や結晶方位解析などのオプション機能追加が可能。
・標準のSEM画像、形状測定データに加え、元素マッピング像など多彩な情報が短時間で得られます。
・3D元素マッピング機能では、コート材剥離、異元素付着など、元素の高さ情報をナノ～ミクロンオーダーで解析できます。
多彩なオプション
多彩なオプション
各種オプションをご用意しております。
詳細はお問い合わせください。
●各種試料ホルダー
●ナビゲーションカメラ
●ジョイスティック
●3D元素マッピング
●各種コーター
●エネルギー分散型X線分析装置（EDS）
●結晶方位解析装置（EBSP）
| 高解像度システム | 標準システム | ||||||
| 分解能 | 1.2nm (30kV) 5nm (1kV) | 3.5nm (35kV) | |||||
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | プリセンタードタングステン | |||||
| 加速電圧 | 0.3 ～ 30kV | 0.3 ～ 35kV | |||||
| 倍率 | 20 ～ 600,000倍 | 10 ～ 400,000倍 | |||||
| （大型サンプルの実用倍率 2,000 倍） | |||||||
| 検出器 | 二次電子検出器4本 | ||||||
| 像観察 | 差信号凹凸強調二次電子像、和信号組成強調二次電子像、通常の二次電子像 | ||||||
| 画像形式 | BMP、JPG、TIFF、PNG | ||||||
| サンプル最大寸法 | 試料サイズについてはご相談ください。 （試料例：Φ400mm、t=20mm等） | ||||||
| サンプル最大重量 | 15kg（15kg以上でも応相談） | ||||||
| サンプル移動範囲 | 試料サイズによる。 移動量例） Y400mm、T 0～45° R 360°エンドレス（モーター駆動 | ||||||
| サンプル交換 | 大気開放式 | ||||||
| オプション | 試料室CCDカメラ エネルギー分散型X線分析装置 局所低真空機構 | ||||||
おことわり
このHPに掲載されている製品情報は、製品の代表的な特徴や性質について説明したもので、規格に関する規定事項として明示したもの以外は、製品の保証を意味するものではありません。
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