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R&D向け電子ビーム描画装置の最新エントリーモデル多様なオプションで最適な仕様にカスタマイズ、ユーザ ...続きを読む
業界最大のフィールドサイズ5mmの一括描画、最大ビーム電流800nAの大電流電子光学系を採用、業界最 ...続きを読む