エリオニクス

微細加工装置

  • 電子線描画装置/電子ビーム描画装置 [ELSシリーズ]
  • 電子線ディスクマスタリング装置 [EBWシリーズ]
  • イオンエッチング装置・成膜装置 [EISシリーズ・その他]
  • FIB 微細加工装置
  • 試料コーティング装置
  • 電子ビームナノ融解装置

計測分析装置

  • 粗さ解析装置 (走査電子顕微鏡3D解析) [ERAシリーズ]
  • TFE走査型電子顕微鏡
  • 三次元X線分析装置
  • 硬さ試験機/ナノインデンテーション [ENTシリーズ]
  • 表面力測定装置
2013/6
7/3(水)〜7/5(金)
ナノ・マイクロ ビジネス展(旧マイクロマシン/MEMS展)に出展します。
ご来場お待ちしております。
2013/5
日刊工業新聞に 当社記事掲載
2013/4
日経新聞に 当社記事掲載
2013/3
第二回八王子市ものづくり産業表彰 受賞

日刊工業新聞に当社記事掲載

日経新聞に当社記事掲載
2013/1

当社新製品 表面力測定装置「ESF-5000」を発表しました。

日刊工業新聞に当社記事掲載
2012/11

ELS-F125、2012 年東京都ベンチャー技術大賞奨励賞受賞

2012/8
日経新聞・日刊工業新聞に当社記事掲載
2011/12
日経産業新聞に当社記事掲載(「日本を元気にする日本を元気にする産業技術会議」座談会)
2011/11

日経新聞・日経産業新聞 当社記事掲載

2011/7

ELS-F125 MIT、ハーバード大から受注!
次世代HDDマスタリング装置新製品 年内に市場投入

2011/6

祝 叙勲  本目会長が旭日双光章受章

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