nano tech 2017 exhibition
電子ビーム描画装置 ELSシリーズ
ELSシリーズ
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERAシリーズ
SEMICONjapan2016 exhibision
ナノインデンテーションテスター ENTシリーズ

製品案内

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微細加工装置

電子ビーム描画装置
 『ELSシリーズ』

電子ビーム描画装置 ELSシリーズ

電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』

電子ビームディスクマスタリング装置 EBW-150C

ECRイオンエッチング・成膜装置『EISシリーズ』

ECRイオンエッチング装置・成膜装置 EISシリーズ

ICPエッチング装置
 『EIS‐700』

ICPエッチング装置 EIS-700

FIB微細加工装置
 『EIP-5400』

FIB微細加工装置 EIP-5400

電子ビームナノ融解装置
 『ENF-3500』

電子ビームナノ融解装置 ENF-3500

計測・分析装置

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-9000』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-9000

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600FE』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600FE

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600

高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』 

高分解能SEM用試料コーティング装置/スーパーファインコーター ESC-101

超微小押し込み硬さ試験
 機『ENTシリーズ』

超微小押し込み硬さ試験機 ENTシリーズ

表面力測定装置
新製品『ESF-5000Plus』

表面力測定装置 ESF-5000Plus

トピックス

トピックス一覧
2016年12
展示会情報
SEMICON Japan 2016』展示会に出展いたします。
日時:12月14日(水)~16日(金)  時間 10:00~17:00
会場:東京ビッグサイト 前工程 東4ホール 弊社小間番号 4611 
多数の皆様のご来訪心よりお待ちしております。

2016年12月
展示会情報
nano tech 2017』展示会に出展いたします。
日時:2017年2月15日(水)~17日(金)  時間 10:00~17:00
会場:東京ビッグサイト 東4ホール 弊社小間番号 4J-09 
多数の皆様のご来訪心よりお待ちしております。

2016年11月
新聞・雑誌掲載
地域企業と産業振興で連携(日刊工業新聞連載記事)』 ※産総研のHPへリンクします。
産総研とエリオ二クスとの技術力を活かした連携取組みについての記事が日刊工業新聞
               に掲載されました。「表面硬さ測定 高度化」
2016年 8月
新商品のお知らせ
新製品 表面力測定装置ESF-5000Plusを発表いたしました。
2016年 1月
新商品のお知らせ
新製品 高スループット電子ビーム描画装置ELS-HS50を発表いたしました。
2015年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600を発表いたしました。
2014年 9月
新商品のお知らせ
新製品 加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置ELS-S50を発表いたしました。
2014年 8月
新商品のお知らせ
新製品 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600FEを発表いたしました。
2014年 3月
当社が経済産業省よりグローバルニッチトップ企業100選に選定、表彰されました。
2014年 3月
BS-TBS報道経済番組グローバルナビフロントに弊社本目会長が生出演いたしました。
2014月 1月
新商品のお知らせ
新製品 超高精度電子ビーム描画装置ELS-F100を発表しました。
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