ELIONIX
電子ビーム描画装置 ELSシリーズ
ELSシリーズ
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERAシリーズ
ENTシリーズ
ナノインデンテーションテスター ENTシリーズ

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微細加工装置

電子ビーム描画装置
 『ELSシリーズ』

電子ビーム描画装置 ELSシリーズ

電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』

電子ビームディスクマスタリング装置 EBW-150C

ECRイオンエッチング・成膜装置『EISシリーズ』

ECRイオンエッチング装置・成膜装置 EISシリーズ

ICPエッチング装置
 『EIS‐700』

ICPエッチング装置 EIS-700

FIB微細加工装置
 『EIP-5400』

FIB微細加工装置 EIP-5400

電子ビームナノ融解装置
 『ENF-3500』

電子ビームナノ融解装置 ENF-3500

計測・分析装置

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-9000』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-9000

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600FE』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600FE

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600

高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』 

高分解能SEM用試料コーティング装置/スーパーファインコーター ESC-101

超微小押し込み硬さ試験
 機『ENTシリーズ』

超微小押し込み硬さ試験機 ENTシリーズ

表面力測定装置
 『ESF-5000』

表面力測定装置 ESF-5000

トピックス

トピックス一覧
2016年 8月
展示会情報
アジア最大級 分析機器・科学機器専門展示会JASIS2016に出展いたします。
会期:9月7日(木)~9日(金)  時間 10:00~17:00
会場:幕張メッセ国際展示場 弊社ブース:
7ホール、ブースNo.7B-401
出展製品:三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERAシリーズ表面力測定装

弊社新技術説明会:9月9日(金) 時間 12:30~12:55 部屋 A-4 分野 ナノ・材料
「材料最表面の硬さや弾性率、表面力(凝着力)などのナノ機械特性を定量化する
 表面力測定装置を紹介する。」 多数の皆様のご参加をお待ちしております。
2016年 8月
展示会情報
第77回応用物理学会秋季学術講演会』に於いて弊社主催ランチョンセミナー
開催いたします。9月14日(水) 時間 12:45~13:30 会場: B5(ホール内)
               多数の皆様のご参加をお待ちしております。

2016年 8月
展示会情報
SSDM2016に於いて弊社主催ランチョンセミナーをつくば国際会議場にて
開催いたします。
日時: 9月27日(水)  時間 12:30~13:30
会場: 3階 中ホール 300
多数の皆様のご参加をお待ちしております。

2016年 8月
展示会情報
関西高機能素材ワールド2016内第4回関西高機能フィルム展に出展いたします。
出展装置は、多彩な表面情報が得られるSEM「ERA-600
」、世界で唯一,表面力測定
の「ESF-5000」。多数の皆様のご来場をお待ちしております。  
2016年 1月
新商品のお知らせ
高スループット電子ビーム描画装置ELS-HS50を発表いたしました。
2015年 8月
新商品のお知らせ
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600を発表いたしました。
2014年 9月
新商品のお知らせ
加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置ELS-S50を発表いたしました。
2014年 8月
新商品のお知らせ
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600FEを発表いたしました。
2014年 3月
当社が経済産業省よりグローバルニッチトップ企業100選に選定、表彰されました。
2014年 3月
BS-TBS報道経済番組グローバルナビフロントに弊社本目会長が生出演いたしました。
2014月 1月
新商品のお知らせ
超高精度電子ビーム描画装置ELS-F100を発表しました。
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