ELS series
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ERA series
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ENT series
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製品案内

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微細加工装置

電子ビーム描画装置
 『ELSシリーズ』

電子ビーム描画装置 ELSシリーズ

電子ビームディスクマスタリング装置
『EBW-F150C』

電子ビームディスクマスタリング装置 EBW-150C

ECRイオンエッチング・成膜装置『EISシリーズ』

ECRイオンエッチング装置・成膜装置 EISシリーズ

ICPエッチング装置
 『EIS‐700』

ICPエッチング装置 EIS-700

FIB微細加工装置
 『EIP-5400』

FIB微細加工装置 EIP-5400

電子ビームナノ融解装置
 『ENF-3500』

電子ビームナノ融解装置 ENF-3500

計測・分析装置

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-9000』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-9000

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600FE』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600FE

三次元粗さ解析走査電子
 顕微鏡『ERA-600』

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600

高分解能SEM用試料コーティング装置『ESC-101』 

高分解能SEM用試料コーティング装置/スーパーファインコーター ESC-101

超微小押し込み硬さ試験
 機『ENTシリーズ』

超微小押し込み硬さ試験機 ENTシリーズ

表面力測定装置
 『ESF-5000』

表面力測定装置 ESF-5000

トピックス

トピックス一覧
2016年 4月
謹んで震災のお見舞いを申し上げます。今回の熊本・大分地震で被災された皆さまに心よりお見舞い
申し上げます。一日も早い復旧がなされますようお祈り申し上げます。
2016年 4月
展示会情報
トライボロジー会議2016 春 東京」企業技術・製品展示コーナーに出展いたします。
弊社ブースへ是非お立ち寄りくださいませ。心よりお待ちしております。

2016年 4月
展示会情報
弊社は、「第8回MEMS Engineer Forum」MEF2016スポンサーシップに参加して
います。
2016年 1月
新商品のお知らせ
高スループット電子ビーム描画装置ELS-HS50を発表いたしました。
2015年 8月
新商品のお知らせ
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600を発表いたしました。
2014年 9月
新商品のお知らせ
加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置ELS-S50を発表いたしました。
2014年 8月
新商品のお知らせ
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERA-600FEを発表いたしました。
2014年 3月
当社が経済産業省よりグローバルニッチトップ企業100選に選定、表彰されました。
2014年 3月
BS-TBS報道経済番組グローバルナビフロントに弊社本目会長が生出演いたしました。
2014月 1月
新商品のお知らせ
超高精度電子ビーム描画装置ELS-F100を発表しました。
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