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2023年は大変お世話になりました。
弊社では一部の装置ユーザー様や協力企業様宛に年賀状をお送りしております。例年、弊社装置を使用してその年の干支を作製し、メインビジュアルとしております。昨年に引き続き、本年も作製したパターンとそのプロセスをホームページに掲載させて頂きます。本年のSEM画像 "辰" パターンの作製プロセスについて以下にご紹介いたしますので、ぜひ最後までご覧下さい。


辰年の幕開けにあたり、皆様のますますのご繁栄とご成功を心よりお祈り申し上げます。
2024年もエリオニクスをどうぞよろしくお願いいたします。

 

使用した装置
電子ビーム描画装置:
ELS-ORCA
ECRイオンビームスパッタ装置:
EIS-220P
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡:ERA-600FE

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