電子ビーム描画装置『ELS-ORCA』
新製品
微細加工装置
多様なオプションで最適な仕様にカスタマイズ
加速電圧 30 kV を標準とし、加速電圧 50 kV やダイナミックフォーカス・スティグマ、ハイトセンサーを用いたフォーカス調整等、様々なオプションをご用意しました。これらオプションを組み合わせることで、ご所望のパターンやご予算に合わせた装置仕様にカスタマイズ可能です。
ユーザーフレンドリーなソフトウェア
新たな装置制御ソフトウェア「elms（エルムス）」を標準搭載しました。CAD変換やビーム調整、描画実行、SEM観察など様々な機能を整理して分割することにより、必要な機能が見つけやすくなり、作業性が格段にアップしています。アカウント管理機能もあるため、ユーザーのレベルに合わせた機能制限等も可能です。
SEM観察に特化したリターディングオプション
低ダメージかつ高分解能なSEM観察を可能とするリターディングオプションを選択可能です。SEM装置相当の低加速電圧で、最大試料サイズ 8 inch、観察可能範囲 6 inch のSEM観察を行えます。また、描画用CADを流用して座標を合わせた自動観察も可能です。
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 加速電圧 | 1 ~ 30 kV | 1 ~ 50 kV ※オプション | ||||||||||||
| 最小ビーム径 | D 2.0 nm | D 1.6 nm | ||||||||||||
| ビーム電流 | 5 pA ～ 80 nA | |||||||||||||
| スキャンクロック | 100 MHz | |||||||||||||
| ショットピッチ | 最小 0.1 nm | |||||||||||||
| 最大フィールドサイズ | 1000 µm□ | |||||||||||||
| 最大試料サイズ | 8” ウェハー | |||||||||||||
| 最大描画エリア | 150 mm x 150 mm | |||||||||||||
| 搬送機構 | シングルオートローダー | |||||||||||||
| Software | elms（エルムス） • ビーム調整機能 • 描画スケジュール機能 • パターンデータ変換機能 • アカウント管理機能 • Python スクリプティング | |||||||||||||
