電子ビーム描画装置『ELS-BODEN』
新製品
微細加工装置
8 インチ /12 インチをラインナップ
業界初のフル 12 インチ描画エリアを実現しました。 研究開発でよく使われる小片サイズから、2 / 3 / 4 / 5 / 6 / 7 / 8 / 12 インチサイズのウェハに対応し、マスクブランクスも 6025 や 9025 サイズに対応しています。
充実した自動搬送機構ラインナップ
研究開発用途で要望の多いシングルオートローダーはもちろんのこと、少量生産から中量生産まで対応可能なマルチオートローダー、ロボットローダー等充実のラインナップから最適な搬送機構をご選択頂けます。
ユーザーフレンドリーなソフトウェア
新たな装置制御ソフトウェア「elms（エルムス）」を標準搭載しました。CAD変換やビーム調整，描画実行，SEM観察など様々な機能を整理して分割することにより、必要な機能が見つけやすくなり、作業性が格段にアップしています。アカウント管理機能もあるため、ユーザーのレベルに合わせた機能制限等も可能です。
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 加速電圧 | 50 kV | 100 kV | 125 kV | 150 kV | |
| ビーム電流 | 1 nA ～ 800 nA | 20 pA ～ 100 nA | 5 pA ～ 100 nA | 5 pA ～ 100 nA | |
| 最小ビーム径 | D 2.8 nm | D 1.8 nm | D 1.7 nm | D 1.5 nm | |
| 標準フィールドサイズ | 1000 μm□ | 1000 μm□ | 500 μm□ | 500 μm□ | |
| 最小 / 最大フィールドサイズ | 最小 100 μm □ 最大（オプション）3000 μm□ | ||||
| スキャンクロック | 最大 100 MHz | ||||
| ショットピッチ | 最小 0.2 nm | ||||
| 最大試料サイズ | 8” ウェハー / 12” ウェハー | ||||
| 最大描画エリア | 200 mm x 200 mm / 300 mm x 300 mm | ||||
| 搬送機構 | シングルオートローダー マルチオートローダー ロボットローダー | ||||
| Software | elms（エルムス） • ビーム調整機能 • 描画スケジュール機能 • パターンデータ変換機能 • アカウント管理機能 • Python スクリプティング | ||||
