微細加工装置製品一覧

新製品情報

トピックス
2021年6月
新聞発表

電子線三次元粗さ解析装置ERA-9200を発表しました。

ERA-9200の製品ページへセミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。

2021年6月
新聞発表

電子ビームエッジ解析装置ERA-nanoRを発表しました。

ERA-nanoRの製品ページへ電子ビームによる超微細計測・解析技術を用いて、精密加工ツールの刃先などの形状や粗さを数値化します。光学式などの既存測定手法では困難だった、ナノレベルでの比較・解析を実現します。

2021年6月
新聞発表

超大型非破壊観察装置ERA-600SPを発表しました。

ERA-600SPの製品ページへ最大φ400㎜の重量物のある大型円筒試料をそのままステージに取り付け、電子ビーム観察から、2次電子による極微細3D形状測定と元素分析まで複合的に行うことが可能です。標準ステージも搭載しており、通常のSEM観察から3D 解析を行うことも出来ます。

2021年6月
新聞発表

超微小押し込み硬さ試験機ENT-5を発表しました。

ENT-5の製品ページへ「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。
測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。

2020年12月
新聞発表

電子ビーム描画装置ELS-BODEN Σ及び、ELS-BODENを発表しました。

ELS-BODENΣの製品ページへ世界最高クラスの加速電圧150kVから50kVまでの幅広いラインナップを揃え、世界最高速となる400MHzの高速スキャンにも対応しています。またステージの移動速度を上げることで、従来の研究・開発用途から微細加工を行う多品種少量生産用途にも対応します。

◎ 日刊工業新聞2020年11月30日(月) 
  
走査 4 倍速 400MHz」9面                 

ELS-BODENの製品ページへ

2020年1月
新聞発表

超高スループット電子ビーム加工装置ELF-10000を発表しました。

ELS-F150の製品ページへ 8インチサイズのウェハー全面の加工が24時間以内で可能となり、ウェハーサイズのナノインプリント用のモールド作成も可能。モールド作成に使う半導体マスク露光装置と比べ約10分の1の低価格にした。モールドを樹脂へ押しつけ、転写によりナノメートル単位の加工を可能とする「ナノインプリント」技術を併用した量産分野や、安価で多品種少量生産が求められる製造分野での利用を想定している。

◎ 日刊工業新聞2020年1月28日(火) 
  
24時間内に全面加工」14面                 

2018年12月
新聞発表

小型ECRイオンシャワー装置EIS-200ERPを発表しました。

EIS-200ERPの製品ページへ最高3キロボルトまで加速するイオンビームを照射し、スパッタリング微細加工や薄膜生成、表面クリーニングなどに利用する。タッチパネルを採用したことで幅広いユーザーが操作しやすい設計に変更した。これまで手動で行っていたイオンビーム条件をパソコンで制御する。同機は「EIS-200ERT」の後継機で、同機は200ERPの切り替えに伴い製造中止となる。

◎ 日刊工業新聞2018年12月11日(火) 
  
時系列で条件設定 イオンビーム照射装置 材料研究向け開発」8面
                

2018年2月
新聞発表

超高精細高精度電子ビーム描画装置「ELS-F150」を発表しました。

ELS-F150の製品ページへ ELS-F150は、電子ビームの最小径を直径1.5ナノメートルまで絞れ、
4ナノメートル以下の微細加工が可能。高加速電圧により電磁波など外乱要因となるノイズを受けにくい。量子力学の基礎研究開発や、バイオセンサーのナノギャップパターン製作などの用途を見込む。さらに極端紫外線(EUV)リソグラフィーなど次世代リソグラフィー向けの材料開発の評価装置としても訴求する。

◎ 日刊工業新聞2018年2月13日(火) 
  
4ナノメートル以下の加工対応」6面
                

2017年9月
新聞発表

超微小押し込み硬さ試験機「ENT-NEXUS」を発表しました。

ENT-NEXUSの製品ページへ 試料の微小領域や極表層の機械的特性を測る超微小押し込み硬さ試験機「ENTシリーズ」を集約し、新機種「ENT-NEXUS」を10月以降に発売する。1台で軟質材の10ミリニュートンから硬質材の2ニュートンまでの荷重範囲で測定する。

◎ 日刊工業新聞2017年9月4日(月) 
  
超微小押し込み硬さ試験機 軟・硬質材1台で測定」 9面
                

2016年8月
新聞発表

表面力測定装置「ESF-5000Plus」を発表しました。

ESF-5000Plusの製品ページへ 接触した2つの物質表面を引き離すために必要な表面力を定量的に測定できる装置。電磁力式の測定方法にすることで、標準偏差を平均値で割った相対標準偏差は2%以下(プラチナ製標準試料測定時)と高い再現性を実現した。オプションで専用ソフトウェアなどを追加することで、超微小押し込み硬さ試験機として使用可能。10ナノメートル(ナノは10億分の一)以下の押し込み深さでの硬さや弾性率といった特性も評価できる。

◎ 日刊工業新聞2016年8月29日(月) 「表面力」定量的に測定 9面

2016年1月
新聞発表

高スループット電子ビーム描画装置「ELS-HS50」を発表しました。

ELS-HS50の製品ページへ 高輝度ショットキー型電子銃を搭載し、電子光学系システムを大電流に
特化した設計に改良した。100ナノアンペアの大電流でも直径10ナノメート
ルの細いビーム径を実現。数十ナノメートル単位の微細な回路パターンを
高速で描画できる。レーザー直描装置装置では難しかった“サブミクロン”
サイズの加工も高速で行える。

◎ 日刊工業新聞2016年1月21日(木)「スループット100倍」10面

2015年8月
新聞発表

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡「ERA-600」を発表しました。

ERA-600の製品ページへ 従来は測定前に検出器ごとのバランス調整が必要でしたが、調整作業を
自動化し、ワンクリックで3D測定や複数点自動測定が行えます。
また、オプションの共通ホルダーを用いることで超微小押し込み硬さ試験
機「ENTシリーズ」や表面力測定装置「ESF-5000」とピンポイントでの測定
位置を共有できます。

◎ 日刊工業新聞2015年8月25日(火)「測定前作業を自動化」10面

2014年9月
新聞発表

加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置「ELS-S50」を発表しました。

ELS-S50の製品ページへ 静電型のビーム偏向器を改良し、均一に描画できる面積を従来機の10倍の1m㎡□
フィールドに拡大しました。また描画ステージに高精度リニアエンコーダーを搭載す
ることにより、フィールドつなぎ精度を向上しました。

◎ 日刊工業新聞2014年9月11日(木)「均一描画面積を10倍

2014年8月
新聞発表

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡「ERA-600FE」を発表しました。

ERA-600FEの製品ページへ 走査電子顕微鏡(SEM)画像、3次元測定画像の2画像を同時に1画像に表示することにより操作性を向上しました。また、3次元測定前の調整手順を自動化し、
ユーザーごとに生じる測定誤差を解消しました。
さらに、3次元の測定点数を最大で従来機比16倍の1728万画素に増やし、より高精細な凹凸情報が得られるようにしました。

◎ 日刊工業新聞2014年8月26日(火)「測定前調整を自動化

2014年1月
新聞発表

超高精度電子ビーム描画装置「ELS-F100」を発表しました。

ELS-F100の製品ページへ 最大ビーム電流を従来機比50倍の100ナノアンペアにしたほか、100 メガ
ヘルツの可変クロックを採用して最速スキャン速度を1ビット当たり 60ナノ
秒から同10ナノ秒に短縮しました。

◎ 日刊工業新聞2014年1月24日(金)「描画時間50分の1

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