微細加工装置製品一覧

新製品情報

トピックス
2017年9月
新聞発表

超微小押し込み硬さ試験機「ENT-NEXUS」を発表しました。

ENT-NEXUS製品ページへ 試料の微小領域や極表層の機械的特性を測る超微小押し込み硬さ試験機「ENTシリーズ」を集約し、新機種「ENT-NEXUS」を10月以降に発売する。1台で軟質材の10ミリニュートンから硬質材の2ニュートンまでの荷重範囲で測定する。

◎ 日刊工業新聞2017年9月4日(月) 「表面力」定量的に測定 9面

2016年8月
新聞発表

表面力測定装置「ESF-5000Plus」を発表しました。

ESF-5000Plus製品ページへ 接触した2つの物質表面を引き離すために必要な表面力を定量的に測定できる装置。電磁力式の測定方法にすることで、標準偏差を平均値で割った相対標準偏差は2%以下(プラチナ製標準試料測定時)と高い再現性を実現した。オプションで専用ソフトウェアなどを追加することで、超微小押し込み硬さ試験機として使用可能。10ナノメートル(ナノは10億分の一)以下の押し込み深さでの硬さや弾性率といった特性も評価できる。

◎ 日刊工業新聞2016年8月29日(月) 「表面力」定量的に測定 9面

2016年1月
新聞発表

高スループット電子ビーム描画装置「ELS-HS50」を発表しました。

ELS-HS50製品ページへ 高輝度ショットキー型電子銃を搭載し、電子光学系システムを大電流に
特化した設計に改良した。100ナノアンペアの大電流でも直径10ナノメート
ルの細いビーム径を実現。数十ナノメートル単位の微細な回路パターンを
高速で描画できる。レーザー直描装置装置では難しかった“サブミクロン”
サイズの加工も高速で行える。

◎ 日刊工業新聞2016年1月21日(木)「スループット100倍」10面

2015年8月
新聞発表

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡「ERA-600」を発表しました。

ERA-600製品ページへ 従来は測定前に検出器ごとのバランス調整が必要でしたが、調整作業を
自動化し、ワンクリックで3D測定や複数点自動測定が行えます。
また、オプションの共通ホルダーを用いることで超微小押し込み硬さ試験
機「ENTシリーズ」や表面力測定装置「ESF-5000」とピンポイントでの測定
位置を共有できます。

◎ 日刊工業新聞2015年8月25日(火)「測定前作業を自動化」10面

2014年9月
新聞発表

加速電圧50kVのTFE電子ビーム描画装置「ELS-S50」を発表しました。

ELS-S50製品ページへ 静電型のビーム偏向器を改良し、均一に描画できる面積を従来機の10倍の1m㎡□
フィールドに拡大しました。また描画ステージに高精度リニアエンコーダーを搭載す
ることにより、フィールドつなぎ精度を向上しました。

◎ 日刊工業新聞2014年9月11日(木)「均一描画面積を10倍

2014年8月
新聞発表

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡「ERA-600FE」を発表しました。

ERA-600FE製品ページへ 走査電子顕微鏡(SEM)画像、3次元測定画像の2画像を同時に1画像に表示することにより操作性を向上しました。また、3次元測定前の調整手順を自動化し、
ユーザーごとに生じる測定誤差を解消しました。
さらに、3次元の測定点数を最大で従来機比16倍の1728万画素に増やし、より高精細な凹凸情報が得られるようにしました。

◎ 日刊工業新聞2014年8月26日(火)「測定前調整を自動化

2014年1月
新聞発表

超高精度電子ビーム描画装置「ELS-F100」を発表しました。

ELS-F100製品ページへ 最大ビーム電流を従来機比50倍の100ナノアンペアにしたほか、100 メガ
ヘルツの可変クロックを採用して最速スキャン速度を1ビット当たり 60ナノ
秒から同10ナノ秒に短縮しました。

◎ 日刊工業新聞2014年1月24日(金)「描画時間50分の1

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