微細加工装置製品一覧

新聞・雑誌記事

トピックス
2019/1
新聞発表

日本経済新聞に弊社の超高速電子ビーム描画装置UHSEBの記事が掲載されました。
NEDO戦略的基盤技術高度化支援事業(プロジェクト委託型)
               「半導体微細加工 コスト減 高速描画装置を開発」

image産業技術総合研究所と共同で、半導体製造用の微細加工「ナノインプリント」を低コストでできる高速描画装置UHSEBを開発した。描画高速化では描画に使う電子ビームの電流を大きくしながら、ビームの方向を制御する偏向器を独自に工夫して露光範囲を拡大。回路を描く速度を従来の装置より40~100倍にした。2週間かかっていた原版の描画を3時間程度に短縮でき、モールドを効率よくつくれるようになる。4月から産総研集積マイクロシステム研究センターにデモ機を展示し、メーカーや研究機関が試用できるようにする。12月から実用にの販売を始め、年間2台の受注を目指す。 

◎2019/01/30 日本経済新聞(東京・首都圏経済 35面)にUHSEBの記事が掲載されました。

2014/3
新聞発表

弊社が経済産業省より「グローバルニッチトップ企業100選」に選定、
表彰されました。

弊社が経済産業省より「グローバルニッチトップ企業100選」に選定、表彰されました。
これは、特定分野で高いシェアを確保し、国際競争力を発揮しているモノ づくり企業に与えられるものです。
(1)機械・加工部門 (2)素材・化学部門(3)電気・電子部門(4)消費財・そ の他部門(5)ネクストGNT部門 の5部門にそれぞれ企業が選定され、 当社は「機械・加工部門」で、表彰を受けました。

◎2014/03/18 日刊工業新聞 弊社が経済産業省より「グローバルニッチト ップ企業100選」に選定、表彰された記事が掲載されました。

2014/3
新聞発表

BS-TBS報道経済番組 「グローバルナビフロント」に弊社本目会長が生出演
いたしました。

image3月15日(土)10:00~10:54放送のBS-TBS報道経済番組
「グローバルナビフロント」に弊社本目会長が生出演 いたしました。
番組名:「グローバルナビフロント」
チャンネル:BS-TBS BS 6ch
ウェブサイト:
http://www.bs-tbs.co.jp/globalnavi/bigname/list.html
テーマは、「世界一細い線を描く!ナノテクの開拓者」

2013/11
雑誌・書籍

(一社)首都圏産業活性化協会(略称:TAMA協会)主催「第1回TAMAブランド大賞」で「産学連携大賞」を受賞いたしました。

imageTAMAブランド大賞は、TAMAの先端産業のイノベーションや国内外での連携、環境に配慮したものづくり、グローバルニッチ分野での販売等を実現し、他の模範となる取り組みを進める企業を「TAMAブランド企業」と認定し、TAMAを技術先進首都圏地域として発信。また、TAMAブランド企業の中から、際立って優れた取り組みを進める企業を「TAMAブランド大賞」として表彰するものです。

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