サポート

各機種について

デモンストレーションを行なっていただけますか?
はい、本社ショールームには各機種最新のデモ機を設置しております。 どうぞお気軽にお申し付けください。又、アプリケーションのご相談も承ります。詳しくは本社営業部 042-626-0611までご連絡ください。

ELSシリーズについて

市販のCADデータは使用できますか?
DXF,GDSIIなどのデータフォーマットであれば使用可能です。
試料をガリウム砒素基板に描画したいと考えています。テストのためシリコン基板に描画を行ない、描画条件を確認しました。しかしガリウム砒素基板に同じ描画をしたらパターンが太くなってしまいました。どうしてでしょうか?
レジストは試料によって見かけ上の感度が変化します。今回の場合感度オーバーとなってパターンが太くなったと予想されます。パターン、感度テストは目的の試料で行う必要があります。
加速電圧を低くすると、レジストの感度が高くなるそうですが。
確かに、レジストの見かけ上の感度は、加速電圧にほぼ反比例します。しかし、加速電圧が低いと、細いパターンを描くことは難しくなります。
レジストを薄く塗布したいので、シンナーで薄めていますが、しかしある程度以上には薄くなりません。何か良い方法はありませんか?
薄くならない原因は多数あると思います。その中一つに「スピンコート中にシンナーが気化して粘度があがってしまう」というのがあります。1st回転の時間を極端に短くして試してみてはいかがでしょうか?限界はあると思いますが、一定の効果は期待できます。
PAGETOP