サポート

各機種について

デモンストレーションを行なっていただけますか?
はい、本社ショールームには各機種最新のデモ機を設置しており、無償でご対応させていただいております。
弊社応用技術課専任スタッフによる適切なサンプリングとオペレーションにより、その場で各機種の性能を
ご確認いただけます。
どうぞお気軽にお申し付けください。又、アプリケーションのご相談も承ります。
詳しくは、本社営業部 042-626-0611 又は、西日本営業所 072-754-6999 までご連絡ください。
市販のCADデータは使用できますか?
DXF、GDSIIなどのデータフォーマットであれば使用可能です。
パターンをガリウム砒素基板に描画したいと考えています。テストのためシリコン基板に描画を行ない、最適な描画条件を求めました。しかしガリウム砒素基板に同じ条件で描画をしたらパターンが太くなってしまいました。
どうしてでしょうか?
レジストは使用する基板の組成によって見かけ上の感度が変化します。ご質問の場合、シリコンに比べ見かけ上の感度が増してパターンが太くなったと推測されます。パターン、感度テストは実際に使用する基板で行う必要があります。
加速電圧を低くすると電子線レジストの感度が高くなるそうですが。
確かに、レジストの見かけ上の感度は、加速電圧にほぼ反比例し変化します。しかし、加速電圧が低いと、前方散乱電子や後方散乱電子の影響が高加速電圧の場合に比べ、大きくなることにより細いパターンを描くことは難しくなります。
電子線レジストを薄く塗布したいので、シンナーで薄めていますが、しかしある程度以上には薄くなりません。
何か良い方法はありませんか?
薄くならない原因は幾つかあると思います。その中の一つに「スピンコート中にシンナーが気化して粘度が高くなってしまう」というのがあります。1st回転の時間を極端に短くして試してみてはいかがでしょうか?限界はあると思いますが、一定の効果は期待できます。
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