微細加工装置　製品一覧｜エリオニクス

世界最高クラスの加速電圧 １５０ kVから ５０ kVまでの幅広いラインナップを揃える。
また、BODENΣについては世界最高速となる４００MHzの高速スキャンに対応。さらにステージの移動速度を上げることで、従来の研究・開発用途から微細加工を行う多品種少量生産用途にも対応する。

・最大電流800nAの大電流電子光学系を搭載しました。

・業界最速の基本クロック周波数400MHzを実現しました。

・ステージ移動時間を大幅に短縮しました。

8インチサイズのウェハー全面の加工が24時間以内で可能となり、ウェハーサイズのナノインプリント用モールドの作製がハイコストパフォーマンスで実現できます。ナノインプリント技術を併用した量産用途から多品種少量生産用途まで、レーザー加工、機械加工などの幅広い分野への適用が期待されます。

・最大電流800nAの大電流電子光学系を搭載しました。

・業界最速の基本クロック周波数400MHzを実現しました。

・大面積偏向器を搭載し、ステージ移動させずに、
　10mm□をビーム偏向のみで描画可能です。

・ステージ移動時間を大幅に短縮しました。

小型･大型ECRイオンシャワー装置、成膜やエッチングにおいて特徴あるイオン応用装置をご提供いたします。

・ナノメーターの超微細加工、スパッタによる良質な薄膜形成が
　できます。
　
・イオンエッチングから成膜まで対応します。
 　多様な実験条件が可能です。
　
・ECRプラズマを利用したフィラメントレスのイオン銃を
　採用することにより、イオンソースとして活性ガスも
　適用できます。

【応用分野】　基礎研究・試料作成・表面加工