創業45年を迎える歴史が生み出した信頼のラインアップ
1975年の創業以来、微細加工技術の目覚しい進歩に対し、微細加工分野、計測・分析の各分野において貢献して
まいりました。品質と性能を徹底的に追求し、これからも最先端のナノテク製品をお届けしてまいります。
※製品のご購入を検討されているお客様向けに、製品デモンストレーションのご予約を随時受け付けております。
お気軽にお問い合わせくださいませ。

1975年の創業以来、微細加工技術の目覚しい進歩に対し、微細加工分野、計測・分析の各分野において貢献して
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『ELS-BODEN シリーズ』ラインアップ
- ELS-BODEN Σ
- >業界最速!
クロック周波数400MHzの高速スキャンで生産向けに対応
- ELS-BODEN
高精細描画から大電流高速描画まで幅広いアプリケーションに対応
超高スループット電子ビーム加工装置『ELF-10000』
微細加工装置

EISシリーズの特徴
小型・大型ECRイオンシャワー装置、成膜やエッチングにおいて特徴あるイオン応用装置をご提供いたします。
・ナノメーターの超微細加工、スパッタによる良質な薄膜形成が
できます。
・イオンエッチングから成膜まで対応します。
多様な実験条件が可能です。
・ECRプラズマを利用したフィラメントレスのイオン銃を
採用することにより、イオンソースとして活性ガスも
適用できます。
【応用分野】 基礎研究・試料作成・表面加工
・ナノメーターの超微細加工、スパッタによる良質な薄膜形成が
できます。
・イオンエッチングから成膜まで対応します。
多様な実験条件が可能です。
・ECRプラズマを利用したフィラメントレスのイオン銃を
採用することにより、イオンソースとして活性ガスも
適用できます。
【応用分野】 基礎研究・試料作成・表面加工
『EISシリーズ』ラインアップ
- EIS-200ERP
- >ECRプラズマ装置
弊社の小型イオンシャワー装置のベストセラーモデル。エッチングに成膜に、多目的にご利用いただけます。
*オプション
NPDユニット
- EIS-1500
- >ECRプラズマ装置
ナノインプリント用モールド作成に最適。Arガスで金属薄膜が精度よく加工でき、条件を変えることで石英もエッチングできます。