電子ビームエッジ解析装置『ERA-nanoR』
計測・分析装置
ナノレベルのエッジのR（曲率半径）や面粗さを数値化
電子ビームによる超微細計測・解析技術を用いて、精密加工ツールの刃先などの形状や粗さを数値化します。
光方式などの既存測定手法では困難だった、ナノレベルでの比較・解析を実現します。
エッジ解析機能
光学式装置では捉え切れない、微細な切削加工を左右する刃先の状態を、切れ味を決める隠れた要素であるすくい面・にげ面の表面性状の他、曲率半径解析や、稜線解析、形状誤差解析などの各種機能により、解析・比較することができます。
元素分析、結晶方位解析（オプション）
・元素分析や結晶方位解析などのオプション機能追加が可能。
・標準のSEM画像、形状測定データに加え、元素マッピング像など多彩な情報が短時間で得られます。
・3D元素マッピング機能では、コート材剥離、異元素付着など、元素の高さ情報をナノ～ミクロンオーダーで解析できます。
| 高解像度システム | 標準システム | ||||||
| 分解能 | 1.2nm (30kV) 5nm (1kV) | 3.5nm (35kV) | |||||
| 電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | プリセンタードタングステン | |||||
| 加速電圧 | 0.3 ～ 30kV | 0.3 ～ 35kV | |||||
| 倍率 | 20 ～ 600,000倍 | 10 ～ 400,000倍 | |||||
| 検出器 | 二次電子検出器4本、4ch反射電子検出器1本 | ||||||
| 像観察 | 差信号凹凸強調二次電子像、和信号組成強調二次電子像、通常の二次電子像、反射電子像 | ||||||
| 画像形式 | BMP、JPG、TIFF、PNG | ||||||
| 観察モニター | 27インチ液晶 | ||||||
| オート機能 | コントラスト、ブライトネス、フォーカス、スティグマ | ||||||
| 試料サイズ | 試料サイズについてはご相談ください （試料例：Φ150 x H30、L250 x W50 x H30mm、8インチΦなど）。 | ||||||
| ステージ駆動 | X, Y, Z, R, T | ||||||
| 試料移動範囲 | X：0 ～ 50 mm Y：0 ～ 155 mm | ||||||
| Z：4 ～ 36 mm | Z：8 ～ 40 mm | ||||||
| R：360 度連続エンドレス | |||||||
| T：-7 ～ +70° | |||||||
| 排気系 | ターボ分子ポンプ、油回転ポンプ、イオンポンプ | ターボ分子ポンプ、油回転ポンプ | |||||
| Z方向分解能 | 1nm | ||||||
| 測定点数 | LINE測定 (X、Y方向とも)：最大32,767点、3D測定：最大4,800 x 3,600点 | ||||||
| 測長機能 | X、Y、Z方向2点間の距離、傾斜角度 | ||||||
| 表面性状 解析機能 | 鳥瞰図、等高線図、山数、粒度、面積率、JIS規格粗さパラメーター | ||||||
| エッジ解析機能 | 刃先解析、曲率半径解析、稜線解析、形状誤差解析 | ||||||
おことわり
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