電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』｜計測･分析装置｜製品｜エリオニクス ELIONIX INC.

三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERA-9200』

計測・分析装置

セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。

・超高分解能のSEM観察視野において、ピンポイントで三次元形状データ取得が可能です。
・表面粗さ解析機能によって Ra、Rz などのJIS規格、ISO規格パラメータ算出が可能です。

・100V以下から観察が可能で、1kV時の分解能は横方向分解能0.7nmを達成しています。
・セミインレンズ方式を採用し、15kV時で最高分解能0.5nmを達成いたしました。

・ドライポンプ (完全オイルフリー) の採用で、徹底したコンタミネーション対策を実施しました。

・対物レンズと試料の接触を回避するインターロック機構を搭載しました。
また、試料室内CCDモニターを標準装備しています。

■SEM画像

超高解像度電子線レジスト
ご提供：産業技術総合研究所
（80万倍）

Liイオン電池電極材料
ご提供：日本スピンドル製造
株式会社（25万倍）

カーボンナノチューブの観察結果（1kV 40万倍）

加速電圧による金粒子
観察結果の比較（20万倍）

■三次元画像

3D解析段差測定

■描画パターン解析ソフト

画像解析ソフトウェアは、ELIONIX製の描画装置で描画したSEM画像の解析に特化した画像解析ソフト。主に、
平行に並んだ直線図形（Line）、格子状に並んだ円状の図形（Dot）を観察したSEM画像の測長・解析を行い、
描画結果を分析。専用描画パターンから、フィールドつなぎの評価も可能。

直線図形（Line）SEM像

直線図形（Line）測長・解析結果

＜SEM観察系＞

電子銃	ZrO/W 熱電界放出型
ランディング電圧	100 V ～ 30 kV
二次電子検出器	Top検出器 4式 Upper検出器　2式 Lower検出器　1式
分解能	0.4nm　（ランディング電圧30kV） 0.5nm　（ランディング電圧15kV） 0.7nm　（ランディング電圧1kV）
倍率	ｘ60 ～ 3,000,000倍
試料寸法	Φ100mm、Φ36 x H10mm、Φ26 x H16mm
試料駆動	X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動

＜三次元測定系＞

縦方向分解能	1 nm
測定方向	X方向、Y方向
測定データ点数	最大432万点
データ記録方法	Windows対応
解析	等高線、鳥瞰図、山数、粒度面積率、表面積、JIS規格パラメータ