微細加工装置製品一覧

ERA-9000

1nm以下の超高分解能・低加速・三次元測定を実現!セミインレンズSEMによる形状解析を実現しました。

セミインレンズ方式による三次元測定を可能にしたことで、低加速による超高分解能を実現しました。
三次元測定時に低ランディング電圧 (試料への照射電圧) 1kVで高さ方向1nmの超高分解能を保証しています。
試料最表面の微細な形状を正確に捉え解析することが出来ます。

製品特徴

SEM視野そのまま三次元形状測定、表面性状解析

・超高分解能のSEM観察視野において、ピンポイントで三次元形状データ取得が可能です。

・表面性状解析機能によって Ra、Rz などのJIS規格、ISO規格の表面性状パラメータ算出が可能です。

低加速電圧・高分解能

・100V以下から観察が可能で、1kV時の分解能は横方向分解能1.3nmを達成しています。
 
・セミインレンズ方式を採用し、15kV時で最高分解能0.8nmを達成いたしました。

徹底したコンタミネーション対策

・ドライポンプ (完全オイルフリー) の採用で、徹底したコンタミネーション対策を実施しました。  

インターロック機構

・対物レンズと試料の接触を回避するインターロック機構を搭載しました。
 また、試料室内CCDモニターを標準装備しています。

オプション ENT-ERA(SEM、EBSD)測定座標共通化ホルダーシステム

トリニティー試料台 ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENTシリーズとの
共通試料ホルダーです。
どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置で
あり、連携させることで装置単体での性能を大きく拡張し
た解析結果を得ることができます。

・試料の取り外し、再固定の手間を省き、スムーズに装置
 間の試料移動が行えます。

・ERAシリーズ、ENTシリーズ装置間でのステージ座標変換
 が容易、同一視野、同一測定場所の選定が極短時間かつ
                            ピンポイントで行えます。

アプリケーションギャラリー

■SEM画像                        ※画像をクリックすると拡大画像が表示されます。
  • EBレジスト(ネガ)

    EBレジスト(20万倍)

  • CNT

    カーボンナノチューブ
    (10万倍)

  • CNT

    カーボンナノチューブの観察結果(1kV 40万倍)

  • Au particle

    加速電圧による金粒子
    観察結果の比較(20万倍)

■三次元画像                        ※画像をクリックすると拡大画像が表示されます。
  • Etch pit (A+B)

    二次電子像(A+B)

  • Etch pit (A-B)

    凹凸強調二次電子像
    (A-B)

  • Bird view

    三次元鳥瞰図

  • Contour map

    高さマップ

主な仕様

<SEM観察系>
電子銃 ZrO/W 熱電界放射型
ランディング電圧 100V ~ 30kV
分解能 0.8nm : 15kV
1.3nm : 1kV  (リターディング時)
倍率 x60 ~ 1,000,000倍
試料寸法 Φ100mm、Φ26 x t28mm
試料駆動 X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動
<三次元測定系>
縦方向分解能 1nm
測定方向 X方向、Y方向
測定データ点数 最大432万点
データ記録方法 Windows対応
解析 等高線、鳥瞰図、山数、粒度
面積率、表面積、JIS規格パラメータ

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