微細加工装置製品一覧

ERA-600FE

フィールドエミッション三次元粗さ解析
走査電子顕微鏡。

高精度・高分解能表面形状測定機の決定版。
高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、
表面性状パラメータ算出がこの一台で可能!
精密工学会技術賞を受賞。
  • SEM+α

    ERAシリーズで何ができるのか?何がわかるのか?
    ※図をクリックすると拡大表示されます。

  • 凹凸image

    組成情報を排除し、凹凸コントラストだけの画像に。
    凹凸感の曖昧な通常のSEM像、
    画像から確実に凹凸の判断ができ、さらに形状測定も行える。
    ※図をクリックすると拡大表示されます。

製品特徴

各種表面性状パラメータが得られます

・三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータが得られます。
 
・これらのSEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事により、
 効率的にデータ管理できます。これにより論文、報告書の作成効率も格段に高まります。
  • Bird view

    三次元鳥瞰図
    ※画像をクリックすると拡大画像が表示されます。

  • Contour map +  cross section

    等高線図
    ※画像をクリックすると拡大画像が表示されます。

世界唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像

Quad-SED・凹凸感の曖昧な通常のSEM像とは異なり、確実に凹凸の判断ができる
 独自の凹凸二次電子像、また、組成コントラストを強調した二次電子像
 など、試料から様々な情報が得られます。
 さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。
    下の画像は同一視野における左「組成強調二次電子像」と右「凹凸強調二次電子像」との見え方の違い。
  • A+B image

    組成強調二次電子像倍率 ×150
    ※画像をクリックすると拡大画像が表示されます。

  • A-B image

    凹凸強調二次電子像 倍率 ×150
    ※画像をクリックすると拡大画像が表示されます。

縦方向・横方向ともに高い分解能

Quad-SED・独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、
 微細な表面形状を確実に捕らえます。

高い操作性

・使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレーション。
 
・オート機能を搭載し、簡単な操作を実現しました。また積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が
 得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。

試料へのダメージが低い

・電子プローブで試料表面を高速にスキャンし測定するため、試料表面を傷つける事はありません。

・照射電流量も10pA以下と極めて小さくビームダメージに弱いサンプルも測定する事が出来ます。

高いメンテナンス性

・独自の長寿命電子源(ショットキー型)を搭載しているため、日常のメンテナンスはほとんど不要です。
 また、電子銃、電源等の自己診断機能も備えています。

関連資料ダウンロード

拡張パネル+ジョイスティック 装着例

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EDS+EBSD オプション装着例

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    EDS+EBSD (EDAX)  

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      EDS+EBSD (EDAX) 

オプション ENT-ERA(SEM、EBSD)測定座標共通化ホルダーシステム

トリニティー試料台ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENTシリーズとの
共通試料ホルダーです。
どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置で
あり、連携させることで装置単体での性能を大きく拡張し
た解析結果を得ることができます。

・試料の取り外し、再固定の手間を省き、スムーズに装置
 間の試料移動が行えます。

・ERAシリーズ、ENTシリーズ装置間でのステージ座標変換
 が容易、同一視野、同一測定場所の選定が極短時間かつ
                            ピンポイントで行えます。

主な仕様

電子銃 ZrO/W 熱電界放射型
加速電圧 300V ~ 30kV
横方向分解能 1.2nm : 30kV
5nm : 1kV
倍率 x20 ~ 600,000倍
試料寸法 Φ150 × t15 mm (最大径)
Φ50 × t30 mm (最大厚)
試料駆動 X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動
二次電子検出器 4本 (a,b,c,d)
高さ方向分解能 1nm
測定方向 X方向、Y方向
測定データ数 三次元測定データ最大1,728万点、1ライン測定データ最大32,767点
表面性状
パラメータ算出
鳥瞰図、等高線、山数、面積率、粒度、表面積
JIS規格パラメータ (JIS B 0601-2001に準拠)
オプション 操作パネル、ジョイスティック、BSE検出器、EDS、WDS、EBSD、予備排気室 (4インチ型)、
ナビゲーションカメラ、各種試料ホルダー

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 Tel:042-626-0611 Fax:042-626-6136
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