微細加工装置製品一覧

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エリオニクスの新たなENTシリーズ、
ENT-NEXUS(ネクサス)誕生。

エリオニクスの新たなENTシリーズ、ENT-NEXUS(ネクサス)誕生。フレームとユニットの自由な組み合わせが可能なモジュール構成を採用し、ナノインデンテーション試験をはじめ表面力測定など多彩な測定が可能。(但し、搭載可能ユニットは2式まで)
NEXUS―枠を超え、結びつくもの。
エリオニクスの叡智がここに結集。

[名詞] néksəs
 1.結びつけるもの、 きずな、結合、連結、関連
 2.集合体、結合体
 3.核心、中心
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■ナノインデンテーション試験
 ISO 14577-1に準拠したナノインデンテーション(超微小押し込み硬さ)試験に対応。

 ・高荷重ユニットでは5μN~2,000mNまでの試験が可能。
  金属材料から高分子材料まで幅広い材料の硬度試験に対応。

 ・軽荷重ユニットでは0.5μN~10mNに対応。
  100nm以下の極薄膜のナノインデンテーション試験をも可能にする、
  軟質材料(弾性率:数Gpa以下)や、押し込み深さ10nm以下の測定に対し優れた繰り返し再現性と安定性が
  得られます。
  UV硬化樹脂、Low-k膜等の機能性樹脂やその他シリコーンゴム等の弾性材料、DLC膜などの極薄い硬質膜への
  力学特性評価に適しています。

■表面力測定
 表面力ユニットを取り付けることで、物体間に働く表面力を測定することが可能。
 プローブを自由に選択可能。実際の系に近い形で表面力測定が可能な世界初の測定ユニットです。

製品特徴

高いデータ再現性

安定性に優れた高S/Nのシステムを実現。超微小荷重域においても再現性のよい試験が可能です。

測定環境管理機構

・温度管理機構
 ナノインデンテーション試験では、装置自体、またサンプルの温度変化による熱ドリフトが大きな問題となります。
 熱ドリフトによる測定への影響を最小化するため、シールドケース内を±0.1℃で温度コントロールしています。
 またステージをはじめ主要部品に低熱膨張材を使用。極めて再現性のよい試験が可能です。

・高性能除振台搭載
 アクティブコントロールの高性能除振台を標準装備。ノイズ源となる振動をキャンセルし、振動の多い環境においても
 安定した測定を可能にしています。

優れた操作性

イージーオペレーションを追求したソフトウェアを採用。試験条件を設定するだけでフルオート測定が可能ですので、
人為的な誤差がなく初心者の方でも容易にオペレート可能です。
また、充実した解析機能を搭載。痒いところに手が届く、柔軟性あるソフトウェアです。

画期的なモジュール構成

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    ユニット部拡大 
    左端が対物レンズ、中央が高荷重ユニット、
    右端が低荷重ユニット

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    標準ステージ

関連資料ダウンロード

オプション ENT-ERA(SEM、EBSD)測定座標共通化ホルダーシステム

image ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENT-NEXUS、
ENTシリーズとの共通試料ホルダーです。
どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置で
あり、連携させることで装置単体での性能を大きく拡張し
た解析結果を得ることができます。
・試料の取り外し、再固定の手間を省き、スムーズに装置
 間の試料移動が行えます。
・ERAシリーズ、ENT-NEXUS、ENTシリーズ装置間での
 ステージ座標変換が容易、同一視野、同一測定場所の選定
が極短時間かつ ピンポイントで行えます。

高荷重ユニットの主な仕様

荷重範囲 5μN ~ 2,000mN
荷重負荷方式 電磁方式
荷重分解能 40nN
計測範囲 0 ~ 100μm
計測分解能 0.3pm
測定方式 光方式
最大試料サイズ 200㎜x100㎜x50㎜
ステージ移動分解能 0.1μm
対物レンズ 20倍
モニター倍率 500倍(デジタルズーム使用時 2,000倍)
除振方式 アクティブ
温度管理 シールドケース内を0.1℃単位で管理

低荷重ユニットの主な仕様

荷重範囲 0.5μN ~ 10mN
荷重負荷方式
電磁方式
荷重分解能
0.02nN
計測範囲
0 ~ 100μm
計測分解能
0.3pm
測定方式 光方式
最大試料サイズ 200㎜x100㎜x50㎜
ステージ移動分解能
0.1μm
対物レンズ
20倍
モニター倍率
500倍(デジタルズーム使用時 2,000倍)
除振方式 アクティブ
温度管理
シールドケース内を0.1℃単位で管理

表面力ユニットの主な仕様

荷重範囲 98μN ~ 980mN (19μN可能)
荷重制御 電磁力式制御
測定範囲 0 ~ 20μm
測定分解能 0.3nm
測定方式 静電容量変位計
最大試料サイズ 200㎜x100㎜x50㎜
ステージ移動分解能
0.1μm
除振方式 アクティブ

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