電子ビーム描画装置『ELS-BODEN Σ』
新製品
微細加工装置
業界最速の 400 MHz 高速スキャン
これまで大電流で描画を行う際は、最小ドーズタイムと最適なドーズ量のバランスから、ショットピッチを広く設定する必要がありました。400 MHz スキャンクロックでは、最小ドーズタイムが従来の 1 / 4 となり、これまで不可能だった大電流かつ狭ピッチでの描画が可能となり、より高速で高品質な描画を実現します。
高速化したステージ速度
描画フィールドをたくさん並べたり、描画中にアライメントマークの検出を繰り返したりすると、ステージの駆動回数が増えてしまいます。このような描画を行う際は、ステージの駆動速度が重要となります。BODEN∑では高速駆動が可能なステージを採用することで、スループットを重視する産業用途に有利な仕様となっております。
外乱の影響を低減
装置本体を囲う風防と磁場キャンセラーを標準搭載。設置環境の外乱を低減し、安定したプロセスを実現します。
電子銃 | ZrO/W 熱電界放出型 | ||||
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加速電圧 | 50 kV | 100 kV | 125 kV | 150 kV | |
ビーム電流 | 1 nA ~ 800 nA | 20 pA ~ 100 nA | 5 pA ~ 100 nA | 5 pA ~ 100 nA | |
最小ビーム径 | D 2.8 nm | D 1.8 nm | D 1.7 nm | D 1.5 nm | |
標準フィールドサイズ | 1000 μm□ | 1000 μm□ | 500 μm□ | 500 μm□ | |
最小 / 最大フィールドサイズ | 最小 100 μm □ 最大(オプション)3000 μm□ | ||||
スキャンクロック | 最大 400 MHz | ||||
ショットピッチ | 最小 0.2 nm | ||||
最大試料サイズ | 8” ウェハー / 12” ウェハー | ||||
最大描画エリア | 200 mm x 200 mm / 300 mm x 300 mm | ||||
搬送機構 | シングルオートローダー ロボットローダー | ||||
Software | elms(エルムス) • ビーム調整機能 • 描画スケジュール機能 • パターンデータ変換機能 • アカウント管理機能 • Python スクリプティング |