微細加工装置製品一覧

EIS-150B

最大試料寸法Φ6インチに対応した、大口径
ECRプラズマイオンシャワー装置です。

製品特徴

リアクティブエッチングに最適

・活性ガス (CF4CHF等) 長時間連続運転が可能なため、リアクティブエッチングに最適です。

高効率・高均一なエッチング

・直径120mmにわたって、±5%の均一度を有するイオンビームによる、高効率、高均質なエッチングが可能です。 

・イオン引き出し部に独特の工夫を施してあり、150Vという低加速電圧でも0.8mA/cm2という高い電流密度を得ら
 れます。ドライエッチング時の基板ダメージを嫌うプロセスに最適です。        

高効率・高均一なエッチング

・平行なシャワー状イオン流を高真空内(差動排気)に引き出して、被加工物に照射します。
 試料面に対し、任意の角度で照射することも可能です。

主な仕様

イオン銃 ECR型イオン銃
イオン化ガス Ar、Xe等、不活性イオン種用ガス
N2、O2、CF4等、 活性イオン種用ガス
加速電圧 50V~500V (高加速電極ユニットにより3000Vまで可能)
イオン流密度 0.8mA/cm2以上 (150V加速時)
イオンビーム有効径 Φ120mm
試料ステージ 最大 Φ6インチウェハに対応

資料請求・仕様などお気軽にお問い合わせください。

北海道・東北・関東地方、および
新潟県、長野県、山梨県、静岡県、愛知県、沖縄県のお客様
第一営業部(東京都八王子市)
 Tel:042-626-0611 Fax:042-626-6136
中部(新潟県、長野県、山梨県、静岡県、愛知県を除く)
・近畿・中国・四国・九州地方(沖縄県を除く)のお客様
西日本営業所(大阪府池田市)
 Tel:072-754-6999 Fax:072-754-6990

お問い合わせ・資料請求

PAGETOP