微細加工装置製品一覧

EIG-210

ロングセラーモデル、EIS-200ERで使用しているイオン銃単体および電源、操作部から成るユニットです。
既存装置の真空チャンバーに取付けて、新たなイオンソースとしてご活用いただけます。

主な仕様

イオン銃 ECR型イオン銃
イオン化ガス Ar、Xe等、不活性イオン種用ガス
N2O2CF4等、 活性イオン種用ガス
加速電圧 100V~3000V 連続可変(高加速電極ユニット仕様) (出力電流20mA MAX)
イオン電流密度 Ar:1.5mA/cm2以上(2kV加速時
O2:2.0mA/cm2以上(2kV加速時)
イオンビーム有効径 Φ20mm(FWHM35mm)
イオン流安定度 ±3%/2hr
最大試料寸法 Φ4インチ

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北海道・東北・関東地方、および
新潟県、長野県、山梨県、静岡県、愛知県、沖縄県のお客様
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