微細加工装置製品一覧

EBW-150C

ディスクリートトラック・パターンドメディア等、次世代・次々世代磁気ディスク製造に欠かせないマスタリング装置です。

製品特徴

・最小トラックピッチ17.5nm。ハードディスクのモールド作製用途に、磁気ディスク量産にお応えいたします。
 
・トータルシステムの制御系の向上により、加速電圧80kV (当社従来製品)を150kVにアップ。
 最小ドット径8nmの超微細バターンを短時間で描画することが可能になりました。
 
・記録密度は、1平方インチあたり2テラビット。単位面積あたりの記憶密度が飛躍的に向上いたします。
 
・EBW-7800Cで実績のあるR-θ回転系ステージによる描画方式を採用しています。
 蓄積されたデータ、経験、ノウハウにより、さらなる高密度・高スループットパターニングが期待できます。          

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