各機種について

デモンストレーションを行なっていただけますか？

はい、本社ショールームには各機種最新のデモ機を設置しております。どうぞお気軽にお申し付けください。又、アプリケーションのご相談も承ります。詳しくは本社営業部 042-626-0611までご連絡ください。

ELSシリーズについて

市販のCADデータは使用できますか？

はい、DXF,GDSIIなどのデータフォーマットであれば使用可能です。

試料をガリウム砒素基板に描画したいと考えています。テストのためシリコン基板に描画を行ない、描画条件を確認しました。しかしガリウム砒素基板に同じ描画をしたらパターンが太くなってしまいました。どうしてでしょうか？

レジストは試料によって見かけ上の感度が変化します。今回の場合感度オーバーとなってパターンが太くなったと予想されます。パターン、感度テストは目的の試料で行う必要があります。

加速電圧を低くすると、レジストの感度が高くなるそうですが。

確かに、レジストの見かけ上の感度は、加速電圧にほぼ反比例します。しかし、加速電圧が低いと、細いパターンを描くことは難しくなります。

レジストを薄く塗布したいので、シンナーで薄めていますが、しかしある程度以上には薄くなりません。何か良い方法はありませんか？

薄くならない原因は多数あると思います。その中一つに「スピンコート中にシンナーが気化して粘度があがってしまう」というのがあります。1st回転の時間を極端に短くして試してみてはいかがでしょうか？限界はあると思いますが、一定の効果は期待できます。

ERAシリーズについて

市販されている他の表面粗さ測定器とエリオニクスの電子線を用いた測定方式との違いを教えてください。

市販されている表面粗さ測定器には、異なる測定原理に基づく種々の測定器があります。例えば、触針式粗さ計、光学式測定器、ＳＰＭなどがあります。エリオニクスの電子線を用いた測定方式では、他の方式に比べ、プローブの寸法が格段に小さく、横方向・高さ方向ともに分解能に優れています。また、ＳＥＭを基盤とした装置ですから、ＳＥＭ観察をしながらピンポイントで測定場所を捉えることができ、しかも測定そのものは数分程度で終了します。

試料表面に組成偏析がある場合、正しく凹凸測定が行なわれるのでしょうか？

はい、4個の二次電子検出器にはそれぞれ同様に組成差コントラストが得られます。それら検出信号の差分をとることで、組成差コントラストは相殺され、逆に凹凸コントラストが増幅されます。この差信号を凹凸測定に用いていますので問題ありません。

EIS-ER200小型イオンシャワー装置について

使用できるガス種について

現在標準的なガスには、Ar、O2、N2等を使用しています。

ENT-1100超微小押し込み硬さ試験機について

硬さマップについて教えて下さい。

当社の装置は高精度ステージを利用して、測定面全体に試験を行い、硬さマップを得ることが出来ます。詳しくはカタログ（ENT-1100a）をご覧下さい。