タングステンのような、粒径1nm以下の超微粒子によるコーティングも、手軽に行うことができます。

（Arイオンを用いたイオンビームスパッタ法によりデポジションされたタングステン膜の粒子サイズは0.2〜0.5nm）70万倍のSEM観察でも粒状性が認められず、高倍率での観察に最適です。

試料表面温度が50℃以下のため、熱ダメージの少ないコーティングが可能です。

短時間でコーティングできます。

（真空度1Pa到達後所要時間３〜５分）

回り込み良く、狭い隙間もコーティングと付着力に優れたコーティングが可能。 コンタミネーションの付きにくいコーティング膜が得られます。

ターゲットは、標準ではタングステンをご用意しておりますが、ご要望に応じて各種ターゲット材に換えることができます。

※オプション：エッチングも可能です。