新開発の機構による、超軽荷重領域での試験を実現

• 当社が独自に開発した定点荷重方式の採用により、サンプルの圧子を垂直に押し込むことができます。
• さらに正確な荷重負荷と表面検出精度を飛躍的に向上させ、最小0.1μNという超軽荷重領域での試験を可能にしました。
• HD表面膜、半導体基盤、レジストなどの高分子材料の評価が可能です。

高精度位置決めステージ搭載

• 電子描画装置で培った技術により、最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載。狙いたいところの硬さ、分布をより正確に測定できます。
• 光学変位計を採用、0.06nmの分解能を保証します。最大20μｍまでの測定が可能です。

CCDによるすばやく簡単な位置確認

• 試料観察にはCCDカメラを採用し、パソコンモニター上で測定ポイントを観察しながら位置決めが出来ます。又、測定データー、観察画面をハードディスクに記録できます。

高い操作性

• ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージを標準装備で、複数の測定ポイントをフルオートで測定できます。
  ※オプションとして各種防振台を選択し、組み合わせる事が出来ます

• 電子線描画用レジスト膜のナノインデンテーション特性(PDFファイル)