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電子線ディスクマスタリング装置
EBW-7800C
ディスクリートトラック・パターンドメディア等、
次世代・次々世代磁気ディスク製造に欠かせないマスタリング装置です。
製品特徴
- 最小トラックピッチ50nm。ハードディスクの原版を作ることで、磁気ディスクの量産ができます
- トータルシステムの制御系の向上により、加速電圧50ｋV（当社従来製品）を80kVにアップ。最小線幅20nmの超微細バターンを短時間で描画することが可能になりました。
- 記録密度は、1平方インチあたり300ギガビット。高密度化により、単位面積あたりの容量が飛躍的に拡大しました。
- EBW-7500Cで実績のあるＲ-θ回転系ステージによる描画方式を採用しています。蓄積されたデータをフィードバックしながら、さらなる高精度・高スループットを実現しました。
