4Be〜95Amまでの元素分析が高精度、迅速に行えます。独自な横置き型分光器の採用により、凹凸のある試料でも分析が可能です。

世界唯一の、４本の二次電子検出器搭載による立体感画像

• マルチ方向から凹凸（TOPO）、組成（COMPO）、通常のSEIの3タイプの画像が高分解能で得られます。従来のSEMでは困難とされた、低倍率での無影照明像、微細凹凸像、緩やかなうねりなどの観察を可能としました。

縦方向・横方向ともに高い分解能

• 独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、微細な表面形状を確実に捕らえます。

各種粗さデータが得られます。

• 三次元鳥瞰図・等高線図・各種粗さデータが得られます。
• これらのSEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事により、効率的にデータ管理できます。 これにより論文、報告書の作成効率も格段に高まります。

高い操作性

• 使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレート
• オート機能を搭載し、簡単な操作を実現しました。また積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。

試料へのダメージが低い

• 電子プローブで試料表面を高速にスキャンし測定するため、試料表面を傷つける事はありません。
• 照射電流量も1pAと極めて小さくビームダメージに弱いサンプルも測定する事が出来ます。